检测项目
六氟化碲纯度测定（≥99.99%）
酸性杂质含量（HF ≤10ppm；SO₂ ≤5ppm）
水分含量（H₂O ≤5ppm）
非挥发性残留物（≤0.01%）
金属离子杂质（Fe ≤0.5ppm；Ni ≤0.3ppm）
气体密度（3.25±0.05 g/L @25℃）
检测范围
电子级高纯六氟化碲气体（纯度≥5N）
半导体掺杂工艺用TeF₆混合气体
核工业用六氟化碲密封容器
光学镀膜材料前驱体
氟化反应催化剂残留物
检测方法
ASTM D8098-17：气相色谱法测定氟化物气体纯度
ISO 21258:2010：红外光谱法测定酸性杂质含量
GB/T 37249-2018：库仑法测定电子气体中微量水分
GB/T 14852-2010：电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）金属杂质分析
ISO 19230:2020：气体密度精密测量规程
检测设备
Agilent 7890B气相色谱仪（配备TCD/FID双检测器系统）
Siemens Ultramat23红外气体分析仪（HF/SO₂专用检测模块）
METTLER TOLEDO C30卡尔费休水分测定仪（分辨率0.1μg H₂O）
Thermo Scientific iCAP RQ ICP-MS（检出限0.01ppb级）
Sartorius Cubis II微量天平（精度0.0001g）
Ametek Densitronic 3000气体密度计（测量精度±0.1%）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
