检测项目

1.孔径尺寸精度：测量直径公差0.5μm~5μm（视材料等级）2.圆度误差：允许偏差0.1%-0.8%孔径标称值3.孔壁粗糙度：Ra值范围0.05-6.3μm（按ISO4287评定）4.孔深一致性：轴向偏差≤0.1mm/100mm5.孔位分布精度：相邻孔距误差2μm~50μm

检测范围

1.金属材料：发动机喷油嘴微孔（φ0.1-1.2mm）、液压阀体通孔2.高分子材料：医用滤膜孔隙（φ5-200μm）、注塑件定位孔3.陶瓷材料：燃料电池扩散层微孔（φ10-500μm）、电子基板过孔4.光学元件：光纤连接器内径（φ1.25-2.5mm0.5μm）、镜头安装孔5.半导体晶圆：TSV硅通孔（φ5-100μm0.1μm）

检测方法

1.光学显微测量法：依据ISO14978进行非接触式二维测量2.激光共聚焦法：执行ASTME2867三维形貌重建标准3.CT断层扫描法：符合GB/T34894-2017无损检测规范4.气动量仪法：采用GB/T1800.3-2020尺寸公差分级体系5.白光干涉法：参照ISO25178表面粗糙度评价标准

检测设备

1.KeyenceIM-8000系列影像测量仪：配备20倍物镜+500万像素CCD，解析度0.1μm2.MitutoyoQuickVisionPro4040：支持XYZ三轴联动测量（精度1.5+L/100μm）3.OlympusDSX1000数码显微镜：具备3D景深合成功能（最大放大倍数6000X）4.ZeissMETROTOM1500工业CT：空间分辨率＜3μm（符合VDI/VDE2630标准）5.TaylorHobsonTalyrond565圆度仪：径向测量精度0.025μm（按ISO1101校准）6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.01nm（白光干涉技术）7|MarpossE9069气动测头系统：量程φ0.05-10mm（压缩空气压力0.4-0.6MPa）8|NikonNEXIVVMZ-S3020视频测量机：双远心镜头+激光辅助对焦（重复精度1μm）9|HexagonOptivPerformance443：多传感器集成系统（CCD+激光+白光）10|Hommel-EtamicW10粗糙度仪：触针半径2μm（符合ISO3274标准）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。