检测项目
纯度检测：
- 二氧化碳纯度：≥99.999%（参照ISO6142）
- 总杂质含量：≤10ppm
- 浓度偏差：±0.01%
- 水分含量：≤0.5ppm（参照ASTME203）
- 露点：≤-76°C
- 氧气浓度：≤1ppm
- 氧化杂质累积：≤0.5ppm
- 氮气浓度：≤2ppm
- 氮化合物杂质：≤0.2ppm
- 总烃含量：≤0.1ppm
- 甲烷杂质：≤0.05ppm
- 颗粒物浓度：≤0.1个/立方厘米
- 颗粒尺寸分布：0.1-5微米（参照ISO21501）
- 长期稳定性：纯度变化≤0.001%/月
- 压力波动耐受：±5%
- 浓度精度：±0.005%
- 响应时间：≤10秒
- 硫化合物含量：≤0.01ppm
- 重金属残留：≤0.001ppm
- 密度偏差：±0.1%
- 流速稳定性：±1%
检测范围
1.电子级二氧化碳气瓶：用于半导体清洗设备，重点检测瓶内气体纯度、水分残留和颗粒物污染。
2.液态二氧化碳储罐：应用于激光冷却系统，侧重检测液态转气态过程的杂质析出和稳定性指标。
3.二氧化碳输送管道：针对电子工厂气体供应网络，着重检测管道内壁腐蚀导致的氧含量升高和颗粒物累积。
4.电子元件清洗系统气体：用于晶圆表面处理，核心检测水分含量、烃类杂质以避免表面氧化。
5.半导体制造设备用气体：集成光刻和蚀刻工艺，重点监控二氧化碳纯度、氮含量和压力波动耐受性。
6.实验室级二氧化碳：用于精密仪器校准，强调浓度精度、露点和长期稳定性检测。
7.工业气体净化系统输出气体：涉及过滤后气体，检测重点为总杂质含量、硫化合物残留和颗粒物清除率。
8.特种气体包装容器：适用于高纯气体分发，着重检测容器密封性相关的氧渗透和水分吸附。
9.车载二氧化碳供应系统：用于移动电子设备冷却，核心检测振动环境下的浓度偏差和烃类杂质波动。
10.医用级二氧化碳相关电子设备：结合医疗电子应用，重点检测重金属残留、稳定性指标和二氧化碳浓度一致性。
检测方法
国际标准：
- ISO6142:2001气体分析-校准混合气体-称量法
- ASTME203-16水分测定-卡尔费休法
- ISO6974-1:2012天然气中成分测定-气相色谱法
- ISO21501-4:2018颗粒计数器和尺寸分布测定
- GB/T8984-2008工业气体中微量水分测定
- GB/T14850-2019工业二氧化碳气体分析方法
- GB/T16171-2019气体中颗粒物浓度测定
- GB/T10247-2008气体分析术语和方法通则
检测设备
1.气相色谱仪：Agilent7890B型（检测限0.001ppm，分辨率0.01%）
2.红外水分测定仪：MettlerToledoHX204型（精度±0.1ppm，范围0-100ppm）
3.质谱仪：ThermoScientificISQ7000型（质量范围1-1000Da，精度0.0001ppm）
4.露点仪：MichellS8000型（测量范围-100至20°C，误差±0.1°C）
5.颗粒计数器：LighthouseSolair3100型（粒径0.1-25微米，流量1CFM）
6.光谱分析仪：PerkinElmerOptima8300型（波长范围190-800nm，检测限0.0001ppm）
7.氧分析仪：Servomex4100型（范围0-1000ppm，精度±0.01ppm）
8.氮分析仪：SiemensMAXUMII型（检测限0.1ppm，响应时间<5秒）
9.烃类检测器：HoribaFIA-510型（灵敏度0.01ppm，范围0-100ppm）
10.密度计：AntonPaarDMA4500型（精度±0.0001g/cm³，温度范围-10至150°C）
11.压力测试仪：WIKACPH7000型（范围0-100bar，误差±0.05%）
12.流速计：BrooksSLA5850型（流量0.1-500L/min，精度±0.5%）
13.稳定性测试台：Endress+HauserProlineP400型（长期监测周期30天，采样率1Hz）
14.重金属分析仪：ThermoScientificiCAPTQ型（检测限0.00001ppm，元素范围广）
15.硫化物检测器：HoribaSLFA-2800型（灵敏度0.001ppm，响应时间<10秒）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
