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文章概述：电子显微镜：用于观察位错的形态、分布和运动等。
X 射线衍射仪：可以分析位错的结构和晶体取向。
原子力显微镜：能够检测位错引起的表面形貌变化。
扫描隧道显微镜：可用于研究位
电子显微镜：用于观察位错的形态、分布和运动等。
X 射线衍射仪：可以分析位错的结构和晶体取向。
原子力显微镜：能够检测位错引起的表面形貌变化。
扫描隧道显微镜：可用于研究位错在原子尺度上的行为。
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