检测项目
束流均匀性检测：横向偏差≤±5%，纵向波动≤3%
离子能量范围检测：0.5-30keV可调，分辨率≤0.5%
束流稳定性测试：1小时内漂移量＜1μA
真空污染度检测：本底真空≤5×10-5Pa，工作真空≤1×10-3Pa
离子种类纯度分析：目标离子占比≥99.9%，杂质含量≤100ppm
检测范围
半导体材料：硅晶圆、GaN衬底等掺杂浓度分析
金属薄膜：Al/Cu/Ti等镀层厚度测量（1nm-10μm）
陶瓷涂层：Al2O3/ZrO2耐蚀性能评估
生物样品：细胞表面改性处理验证
复合材料：碳纤维-树脂界面结合强度测试
检测方法
ASTM E1504-11：离子束分析标准方法
ISO 14706:2014：表面元素污染的测定
GB/T 16594-2008：微米级长度扫描电镜测量方法
ISO 21222:2020：表面化学分析-离子束溅射
GB/T 35099-2018：分析型扫描电子显微镜方法通则
检测设备
ION-8000束流分析系统（美国CEXION）：束斑直径检测范围0.1-10mm，配备法拉第杯阵列
IMX-2000离子质谱仪（日本ULVAC）：质量分辨率0.01amu，检测限达0.1ppb
PHI-5000表面分析系统（美国PHI）：XPS/TOF-SIMS联用，深度分辨率1nm
EM-30环境扫描电镜（中国中科科仪）：二次电子分辨率3.0nm@30kV
Hiden EQP-1000等离子诊断仪（英国Hiden）：能量分析范围±100eV，带宽0.1eV
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
