硅电导率一般为多少检测
检测项目
电导率范围:10⁻⁴~10³ S/cm(依据材料类型)
温度系数:-0.02~0.05 %/℃(25-200℃区间)
载流子浓度:1×10¹⁴~1×10²⁰ cm⁻³
迁移率:100-1500 cm²/(V·s)
电阻率:0.001-10000 Ω·cm
检测范围
单晶硅片(半导体级/太阳能级)
多晶硅铸锭(光伏产业用)
掺杂硅材料(磷/硼掺杂浓度0.1-1000 ppm)
纳米硅薄膜(厚度50-500 nm)
硅基复合材料(SiC/Si3N4复合体系)
检测方法
ASTM F723:四探针法测量半导体材料电阻率
ISO 16390:霍尔效应法测定载流子浓度与迁移率
GB/T 1551:半导体单晶电阻率直流四探针测试法
GB/T 14140:硅外延层厚度与电阻率测试规程
IEC 60436:高温电导率测试方法(200-800℃)
检测设备
Keithley 2450源表:四探针法电阻率测量(量程10μΩ·m~100MΩ·m)
Lake Shore 8400系列霍尔效应系统:磁场强度0.5T条件下载流子分析
Agilent B1500A半导体参数分析仪:纳米级薄膜电导特性测试
Linseis LSR-3激光闪射仪:高温电导率同步热分析(RT-1000℃)
SUSS MicroTec PA300探针台:微区电导率分布测绘(分辨率10μm)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。