检测项目
泄漏率测试：1×10⁻⁹ Pa·m³/s至1×10⁻² Pa·m³/s
压力循环测试：-0.1 MPa至2.5 MPa（100次循环）
系统响应时间：≤3秒（90%信号响应）
背景噪声水平：≤5×10⁻¹¹ Pa·m³/s
最小可检漏率：≤1×10⁻¹² Pa·m³/s（标准工况）
检测范围
真空设备：半导体制造腔体/粒子加速器真空室
密封容器：核燃料运输罐/航天器推进剂贮箱
管道系统：LNG低温管道/化工反应器连接管路
电子元件：IGBT功率模块/MEMS传感器封装
医疗器械：人工心脏瓣膜/血液透析器密封组件
检测方法
ASTM E493-22：真空箱法氦泄漏测试标准流程
ISO 20486:2017：累积法泄漏量定量分析方法
GB/T 34637-2017：氦质谱检漏仪校准规范
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测篇
ASME BPVC Section V：压力容器真空检漏规程
检测设备
INFICON LDS3000：四极杆质谱仪（分辨率0.5 amu）
Agilent VSMS-L4：全金属真空系统（极限真空5×10⁻⁸ mbar）
Pfeiffer HLT560：双通道检漏仪（动态量程10⁻²至10⁻¹² mbar·l/s）
Cincinnati 939XLT：自动压力循环测试台（精度±0.25% FS）
Sierra CPF-8720M：质量流量控制器（0-200 sccm线性精度）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
