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电子真空泵检测

检测项目

真空度测试:极限真空度≤0.1Pa(25℃工况)

泄漏率检测:氦质谱法泄漏率≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s

耐压性能:气密腔体承压≥1.5MPa持续30min

噪音与振动:运行噪音≤65dB(A)/振动幅值<20μm

电气安全:绝缘电阻≥100MΩ/耐压1500VAC 60s无击穿

寿命试验:连续运行2000h后效率衰减<5%

检测范围

汽车制动系统用微型电子真空泵

医疗设备负压吸引装置核心泵体

工业自动化干式旋片真空泵

半导体制造用无油涡旋真空泵

实验室分析仪器分子涡轮泵组

检测方法

ISO 21360-1:2012 真空泵性能测试方法

ASTM E2931-13 氦质谱检漏标准规程

GB/T 13931-2017 电除尘器用高压整流变压器

GB/T 15487-2015 容积真空泵噪声测量规范

IEC 61010-1:2010 测量控制设备安全要求

JB/T 8944-2018 旋片真空泵技术条件

检测设备

Agilent UHV-24复合真空计:量程1×10⁻⁹~1000Pa,精度±3%FS

Inficon ECOTEC E3000氦检漏仪:灵敏度5×10⁻¹² Pa·m³/s

Brüel & Kjær 2270声学分析系统:频率范围6.3Hz~20kHz

Chroma 19032耐压测试仪:输出电压0~5kV AC/DC

Keysight DAQ970A数据采集器:16位分辨率/100kS/s采样率

Schenck V8振动台:最大推力8kN/频率范围5~3000Hz

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

电子真空泵检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。