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界面态检测

检测项目

1.界面态密度(Dit):测量范围为110⁹-110cm⁻eV⁻

2.能级分布特性:能量范围覆盖0.1-1.5eV

3.捕获截面分析:精度达110⁻⁶-110⁻cm

4.时间常数测试:响应时间分辨率0.1μs-10s

5.温度依赖性研究:温控范围77-500K

检测范围

1.硅基半导体材料(单晶硅/多晶硅)

2.III-V族化合物半导体(GaN/AlGaN异质结)

3.有机光电材料(OLED/OPV活性层)

4.金属氧化物薄膜(HfO₂/Al₂O₃栅介质)

5.光伏电池组件(PERC/TOPCon结构界面)

检测方法

1.深能级瞬态谱法(DLTS):依据ASTMF1248-20

2.电容-电压特性法(C-V):符合GB/T18910.21-2022

3.光致发光谱分析(PL):参照ISO14707:2020

4.交流阻抗谱技术(EIS):执行GB/T39143-2020

5.热激电流法(TSC):采用IEC62805-2:2017标准

检测设备

1.KeysightB1500A半导体分析仪:支持高频C-V与脉冲I-V测试

2.LakeShoreCRX-4KProbeStation:77-500K变温测试平台

3.Agilent4156C精密参数分析仪:分辨率达0.1fA/1μV

4.Bio-RadDL8000深能级瞬态谱系统:时间常数测量精度3%

5.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪:空间分辨率0.5μm

6.Keithley4200A-SCS参数分析仪:支持多通道并行测试

7.JanisST-500超低温恒温器:最低温度10K

8.ThermoScientificESCALABXi+XPS:表面态化学分析精度0.1at%

9.OxfordInstrumentsOptistatDN2闭循环制冷系统:控温稳定性0.1K

10.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:表面形貌与电势同步表征

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

界面态检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。