低角法检测
检测项目
1.残余应力分析:入射角范围0.5-5,ψ角扫描步长0.1,测量精度20MPa
2.晶格应变测量:2θ角度范围20-150,分辨率≤0.01,重复性误差<0.005
3.薄膜厚度测定:适用厚度范围10nm-10μm,误差率<3%,采用sinψ法建模
4.织构取向分析:极图采集步长5,覆盖φ角0-360,χ角0-85
5.相组成定量:全谱拟合R因子<5%,检出限0.1wt%
检测范围
1.金属合金:包括铝合金(AA2024/7075)、钛合金(Ti-6Al-4V)等锻压件表面应力层
2.陶瓷材料:氮化硅(Si3N4)热障涂层、氧化锆(ZrO2)功能梯度膜层
3.复合材料:碳纤维增强聚合物(CFRP)界面结合层、金属基复合材料(MMC)扩散层
4.半导体器件:硅晶圆外延层、GaN薄膜异质结构界面
5.增材制造件:SLM成型316L不锈钢表面重熔层、电子束熔融TiAl合金表层
检测方法
ASTME915-22《残余应力的标准测试方法》规定ψ角法测量流程
ISO21432:2019《无损检测-X射线衍射残余应力测定方法》定义sinψ法实施规范
GB/T38817-2020《金属材料残余应力测定X射线衍射法》明确仪器校准要求
GB/T33522-2017《微束分析X射线应力测定方法》规定微区测试条件
ISO24173:2009《微束分析-电子背散射衍射取向分析方法》指导织构分析流程
检测设备
1.X'PertMRDPro(MalvernPanalytical):配备HybridPixel探测器,支持多轴样品台联动扫描
2.D8DISCOVERwithGADDS(Bruker):二维面探系统,实现快速全场应力映射
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。