镜面光洁度检测
检测项目
1.表面粗糙度(Ra):测量范围0.01-10μm,分辨率0.001μm
2.光泽度(GU):20角测量范围0-2000GU,60角测量范围0-1000GU
3.反射率(%):波长范围380-780nm,精度0.5%
4.表面缺陷密度:检测直径≥5μm的划痕/凹坑
5.清洁度等级:按ISO8502-3标准划分Class0-5级
检测范围
1.金属材料:不锈钢镜面板(厚度0.3-5mm)、铝箔(纯度≥99.6%)
2.光学玻璃:棱镜(折射率1.45-1.90)、滤光片(厚度0.1-10mm)
3.塑料制品:PMMA导光板(透光率≥92%)、PC镜片(阿贝数≥30)
4.陶瓷材料:氧化锆基板(表面硬度≥1200HV)、氮化硅轴承
5.半导体晶圆:硅片(直径200/300mm)、砷化镓衬底(TTV≤3μm)
检测方法
ASTME430-17:采用20/60/85多角度光泽度测量法
ISO2813:2014:规定标准光源D65下的镜面反射测量程序
GB/T13891-2008:建筑用铝型材表面光泽度分级标准
ISO4287:1997:表面粗糙度参数Ra/Rz/Rt的评定方法
GB/T29505-2013:硅片表面粗糙度的激光散射测量规范
检测设备
1.TaylorHobsonFormTalysurfi-Series:三维表面轮廓仪,垂直分辨率0.1nm
2.BYK-Gardnermicro-TRI-gloss:三角度光泽度计,符合ASTMD523标准
3.MitutoyoSJ-410:接触式粗糙度仪,最大行程350mm
4.ZeissAxioImagerM2m:金相显微镜,配备500万像素CCD相机
5.HoribaLB-960:高精度分光光度计,波长精度0.1nm
6.KeyenceVK-X1000:激光共聚焦显微镜,Z轴分辨率1nm
7.OptoflashOF1000:非接触式表面缺陷检测系统,扫描速度1m/min
8.BrukerContourGT-X8:白光干涉仪,横向分辨率0.5μm
9.Elcometer480:便携式光泽度计,量程0-200GU(85角)
10.OlympusLEXTOLS5000:3D激光显微镜,最大放大倍率10800
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。