检测项目
1.表面曲率半径测量：范围0.1-5000mm，精度0.05μm2.法线角度偏差量测：量程90，分辨率0.0013.三维形貌重建精度：Z轴分辨率≤10nm4.局部曲率连续性分析：采样间距5-200μm5.动态法线偏移监测：频率响应0-200Hz
检测范围
1.非球面光学透镜（熔石英、氟化钙材质）2.涡轮发动机叶片（镍基高温合金）3.精密注塑模具（S136/SKD61工具钢）4.卫星反射器面板（碳纤维复合材料）5.微机电系统器件（硅基晶圆）
检测方法
1.ASTME2847-21非接触式光学表面法线测量规程2.ISO25178-605几何产品规范(GPS)表面纹理分析法线分量3.GB/T34879-2017精密模具三维形貌检测方法4.ISO10110-8光学元件表面形状公差规范5.GB/T11337-2019机械产品几何量技术规范
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV值测量精度λ/1002.KeyenceVR-5000三维扫描仪：点距0.5μm，最大扫描范围500500mm3.MitutoyoCrysta-ApexS坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm4.AliconaInfiniteFocusG5光学轮廓仪：垂直分辨率3nm5.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：激光扫描速率50,000点/秒6.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴量程12mm，分辨率0.8nm7.NikonXTH450工业CT：体素分辨率＜3μm8.ZeissO-INSPECT322复合式测量系统：多传感器融合测量9.RenishawREVO五轴测量系统：动态测头定位精度0.5μm10.BrukerContourGT-K光学显微镜：20~150自动变倍物镜
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
