检测项目
1.平面度偏差：测量基准面与理论平面最大偏移量（0.1-50μm）2.曲率半径一致性：分析曲面半径公差（0.01-0.5mm）3.轮廓峰谷高度：量化表面起伏特征（Ra0.05-6.3μm）4.边缘锐度：测量刃口圆弧半径（R0.01-0.5mm）5.三维形貌偏差：全视场高度差（5-200μm）
检测范围
1.金属合金精密加工件（航空发动机叶片/模具型腔）2.陶瓷基复合材料（半导体封装基板/热障涂层）3.高分子注塑成型件（光学透镜/密封元件）4.增材制造金属件（SLM成型复杂结构件）5.超精密光学元件（非球面镜/衍射光栅）
检测方法
1.ISO12781:2011平面度公差评定规范2.ASTME177-14测量不确定度评定标准3.GB/T7235-2021产品几何量技术规范(GPS)4.ISO25178-2:2022表面纹理三维表征方法5.GB/T1958-2017几何公差检测与验证通则
检测设备
1.HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机（空间精度0.6+L/350μm）2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪（垂直分辨率1nm）3.ZygoNewView9000白光干涉仪（横向分辨率0.35μm）4.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪（Ra测量范围0.01-50μm）5.KeyenceVR-5000三维扫描系统（点距精度1μm）6.AliconaInfiniteFocusG5显微三维测量系统（Z轴分辨率10nm）7.RenishawXL-80激光干涉仪（线性测量精度0.5ppm）8.ZeissO-INSPECT322复合式测量机（多传感器融合测量）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
