检测项目
1.沉积层厚度测量：采用台阶仪检测（范围0.1-500μm），精度0.05μm2.表面粗糙度分析：白光干涉仪测试Ra值（0.01-10μm）3.电阻率测定：四探针法测量（10-6-103Ωcm）4.结合强度测试：划痕法评估（载荷0-50N）5.孔隙率分析：压汞法测定（孔径范围3nm-360μm）
检测范围
1.锂离子电池正/负极涂层2.燃料电池催化层3.超级电容器碳基电极4.电镀镍/铜/银功能镀层5.MEMS器件金属化层
检测方法
1.ASTMB748-90(2021)金属涂层厚度测量标准2.ISO23717:2015表面粗糙度白光干涉测量法3.GB/T13345-2021金属材料电阻率测试方法4.ISO20502:2016陶瓷涂层结合强度划痕试验5.GB/T21650.3-2011压汞法孔隙度测定规范
检测设备
1.KLATencorP7台阶仪：纳米级厚度测量2.ZygoNewView9000白光干涉仪：三维形貌分析3.LucasLabsPro4四探针台：宽量程电阻测试4.CSMRevetest划痕仪：动态载荷结合力测试5.MicromeriticsAutoPoreV9600压汞仪：全孔径孔隙分析6.HitachiSU5000场发射电镜：微观结构表征7.PARSTAT4000电化学工作站：阻抗谱分析8.RigakuSmartLabX射线衍射仪：晶体结构解析9.MettlerToledoTGA/DSC3+热分析系统：热稳定性测试10.Agilent7900ICP-MS：元素成分定量分析
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
