曝光设计检测
检测项目
1.光强均匀性:测量曝光面照度分布差异(3%)2.波长精度:验证光源输出波长偏差(2nm)3.曝光时间误差:测试快门响应时间精度(≤0.1ms)4.能量密度稳定性:监测单位面积辐照量波动(CV≤1.5%)5.环境光干扰度:评估暗室背景照度水平(≤0.1lux)
检测范围
1.半导体光刻胶:DUV/EUV级感光材料2.光学镀膜材料:AR/IR-cut滤光片3.显示面板组件:TFT-LCD光配向膜4.印刷电路板:干膜抗蚀剂涂层5.医疗器械:UV固化生物材料
检测方法
1.ASTMF1525-2017光刻胶曝光能量密度测试规程2.ISO9022-11:2015光学系统环境光照稳定性试验3.GB/T26183-2010微电子器件紫外曝光系统验收规范4.IEC61228:2020紫外线杀菌灯辐照度测定方法5.GB/T18833-2014公路交通反光膜耐候性能测试
检测设备
1.OceanOpticsUSB4000光谱仪:200-1100nm波长测量2.OAIModel306紫外辐照计:10-365nm波段校准3.HamamatsuC10424成像亮度计:0.001-100,000cd/m量程4.Newport1918-C光功率计:nW-mW级能量密度检测5.KonicaMinoltaCL-500A分光辐射计:符合CIES026标准6.KeysightN7744A多通道光功率监控系统:8通道同步采样7.LabsphereLMS-7600积分球系统:Φ200mm全向光收集8.ThorlabsPM100D数字功率计:支持12种探头适配9.UshioUIT-250紫外线强度计:UVA/UVB/UVC三波段测量10.RadiantZemaxProMetricY45成像色度计:500万像素CCD传感器
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。