检测项目

物理尺寸与几何特性：

• 尺寸精度：外径公差（±0.05mm）、壁厚均匀性（≤±5%）、直线度（≤0.1mm/m）
• 外观缺陷：气泡密度（≤3个/cm³，Φ≤0.5mm）、结石/节瘤（参照ASTM F121）
• 表面粗糙度：Ra值（≤0.4μm，ISO 4287）

光学性能：

• 光谱透过率：紫外区(200-350nm) ≥85%、红外区(2.7μm) ≥90%（参照GB/T 7962.12）
• 光学均匀性：折射率梯度（Δn≤±2×10⁻⁶）
• 双折射：光程差（≤5nm/cm）

热学性能：

• 热膨胀系数：(0-1000℃) α≤5.5×10⁻⁷/℃（ISO 7991）
• 热稳定性：应变点（≥1120℃）、退火点（≥1210℃）
• 耐热冲击性：ΔT≥800℃（水淬法，GB/T 6579）

化学成分：

• 主成分纯度：SiO₂含量（≥99.99wt%）
• 羟基含量：OH⁻浓度（普通级≤10ppm，低羟基级≤1ppm，ASTM E222）
• 痕量金属杂质：Al、Fe、Na、K等（总量≤50ppm，ICP-OES法）

机械性能：

• 抗弯强度：四点弯曲强度（≥50MPa，ISO 14704）
• 努氏硬度：HK0.1/20（≥550）
• 抗压强度：轴向压缩强度（≥1.2GPa）

电学性能：

• 介电常数：1MHz下（εr=3.78±0.02）
• 介电损耗：tanδ≤0.0001（GB/T 1409）
• 体积电阻率：20℃下（≥1×10¹⁸ Ω·cm）

表面质量：

• 微观划痕：表面缺陷深度（≤0.2μm，干涉显微镜法）
• 清洁度：颗粒污染物（≥0.5μm颗粒≤5个/cm²）

耐候性：

• 耐酸性：40%HF浸泡24h失重（≤0.1mg/cm²）
• 耐碱性：10%NaOH沸腾1h失重（≤0.5mg/cm²）

真空性能：

• 放气率：室温下（≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s·cm²）
• 渗透率：He气渗透系数（≤1×10⁻¹⁴ cm³·mm/cm²·s·cmHg）

封装性能：

• 气密性：氦质谱检漏（漏率≤1×10⁻¹² mbar·L/s）
• 金属化附着力：钼锰层结合力（≥15MPa，ASTM FJianCe7）

检测范围

1. 透明石英玻管： 检测重点为光学均匀性、紫外透过率及羟基含量，用于半导体扩散炉管、紫外灯套管。

2. 不透明石英玻管： 侧重热震稳定性、气泡含量及高温变形度，适用于光伏多晶硅铸锭炉。

3. 低羟基石英管： 严格控制OH⁻≤1ppm，重点检测红外吸收光谱及激光损伤阈值，用于高功率激光器。

4. 紫外级石英管： 要求200nm处透过率≥90%，强化金属杂质（Fe、Ti）检测，用于深紫外光刻设备。

5. 合成石英管： 检测等离子体法制造产物的Cl⁻含量、荧光特性及亚表面损伤，用于光掩模基板。

6. 掺杂石英管： 如钛/铈掺杂管，需测定掺杂均匀性及特定波长截止性能，用于滤光器件。

7. 大口径石英管： 重点评估壁厚公差（±1%）及热应力双折射，用于TFT-LCD退火炉。

8. 石英舟/方管： 检测棱角应力集中及高温承载变形量（1550℃下挠曲≤1mm/m）。

9. 石英钟罩： 强化真空放气率测试及法兰平面度（≤0.02mm），用于半导体PVD设备。

10. 石英毛细管： 内径微尺寸（Φ0.1-1mm）精度控制及内壁粗糙度（Ra≤0.1μm）检测。

检测方法

国际标准：

• ISO 7991:1987 玻璃热膨胀系数测定
• ISO 9385:1990 玻璃努氏硬度试验
• ASTM E228-17 线性热膨胀系数标准试验方法
• ASTM F121-78(2020) 石英玻璃中可见夹杂物检验
• DIN 52305 玻璃耐酸性能测定

国家标准：

• GB/T 3284-2015 石英玻璃化学成分分析方法
• GB/T 4121-2014 石英玻璃羟基含量试验方法（与ISO 10178羟基计算法存在差异）
• GB/T 7962.12-2010 无色光学玻璃测试 光谱内透过率
• GB/T 10701-2008 石英玻璃热稳定性试验方法（水淬法严苛于ISO 718）
• GB/T 12442-2019 石英玻璃抗弯强度试验方法（四点弯曲与ISO 14704等效）

方法差异说明： 羟基检测中GB/T 4121采用红外光谱吸收法直接测量，而部分国际标准采用计算法；热稳定性试验GB/T 10701规定水淬温差≥800℃，ISO 718采用空气冷却梯度法。

检测设备

1. 激光干涉仪： ZYGO GPI-XP/D（波长632.8nm，面形精度λ/100）

2. 紫外可见分光光度计： PerkinElmer Lambda 1050+（波长范围175-3300nm，分辨率0.05nm）

3. 热膨胀仪： NETZSCH DIL 402 C（温度范围-160-1600℃，膨胀分辨率0.125nm）

4. 高温粘度仪： ORTON RSV-1600（应变点测量精度±2℃）

5. 电感耦合等离子体光谱仪： SPJianCeRO ARCOS II（检测限0.1ppb，波长范围130-770nm）

6. 傅里叶红外光谱仪： Bruker VERTEX 80v（羟基检测分辨率0.1ppm，光谱范围8000-50cm⁻¹）

7. 万能材料试验机： INSTRON 5967（载荷范围0.02-30kN，位移精度0.0001mm）

8. 显微硬度计： Zwick ZHVμ-S（载荷范围0.1-2kgf，压痕测量精度0.1μm）

9. 激光共聚焦显微镜： Olympus LEXT OLS5000（纵向分辨率1nm，3D粗糙度分析）

10. 氦质谱检漏仪： Leybold PHOENIX L300i（最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s）

11. 高温热震试验机： 定制型（最高温度1700℃，水淬速率≥100℃/s）

12. 椭偏仪： J.A. Woollam M-2000DI（薄膜厚度测量精度0.1Å，折射率精度0.001）

13. 双折射应力仪： StrainMatic MS-100（光程差测量精度0.1nm）

14. 真空放气测试系统： 定制真空室（极限真空5×10⁻⁸ Pa，四极质谱分析）

15. X射线荧光光谱仪： Shimadzu EDX-8100（元素范围B-U，检测限10ppm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。