检测项目

精度检测：

• 绝对精度：[±0.5%FS]，相对精度：[±1%读数]（参照ISO3567:2020）
• 零点漂移：[≤±0.2%FS/小时]，满量程校准：[标准值±0.3%]

• 长期稳定性：[≤±0.3%FS/年]，短期波动：[峰值≤0.5%]
• 温度影响：[-40°C至85°C范围内漂移≤±0.5%/°C]

• 线性偏差：[≤±1%满量程]，非线性误差：[≤0.7%]
• 回差测试：[≤0.5%读数]（参照ASTME74-2022）

• 上升时间：[T90≤0.5s]，下降时间：[T10≤0.8s]
• 过冲限制：[≤2%稳态值]

• 湿度影响：[30%-95%RH范围内误差≤±0.4%]
• 振动耐受：[5-2000Hz频率下偏移≤±0.3%]

• 密封泄漏：[≤1×10^{-9}mbar·L/s]，接口完整性：[压降≤0.1%]
• 真空维持力：[10^{-6}Pa级别稳定性≥24小时]

• 电源波动：[±10%输入电压下输出偏差≤±0.2%]
• 信号输出：[0-10VDC精度±0.15%，4-20mA线性度±0.2%]

• 标准比对：[基准压力偏差≤±0.1%]，可追溯性：[NIST/PTB标准链]
• 多点校准：[5个压力点均方根误差≤0.3%]

• 耐腐蚀性：[酸碱介质中表面变化≤0.01mm厚度]，气密性：[氦检漏率≤1×10^{-10}mbar·L/s]
• 热膨胀系数：[匹配值±0.5ppm/K]

• 多参数组合：[精度、稳定性、线性度综合评分≥95%]，故障率：[MTBF≥50000小时]
• EMC干扰：[30V/m电场下输出波动≤±0.2%]

检测范围

1.真空计传感器：压阻式、电容式传感器，检测重点为微压灵敏度（≤0.01Pa）和长期漂移稳定性

2.真空系统管道：不锈钢或铝合金材质，侧重泄漏率检测（≤10^{-8}mbar·L/s）和压力分布均匀性

3.密封圈材料：氟橡胶或硅胶密封件，重点检测耐真空变形（压缩永久变形≤10%）和气体渗透率

4.真空泵接口组件：包括法兰和阀门，检测关键为连接强度（抗拉≥50MPa）和真空维持能力

5.真空腔体外壳：304/316L不锈钢结构，检测重点包括壁厚均匀性（±0.1mm）和耐压极限（≥1atm）

6.电子控制单元：PCB电路板及微处理器，侧重信号处理精度（±0.05%ADC）和温度补偿性能

7.压力变送器模块：工业级变送器，检测重点为输出线性度（≤±0.5%FS）和抗电磁干扰能力

8.校准标准件：参考真空规和压力源，检测关键为溯源精度（≤±0.05%FS）和重复性（≤0.1%）

9.真空规管组件：热阴极或冷阴极规，检测重点为发射电流稳定性（±1%）和离子收集效率

10.连接法兰系统：KF或CF类型法兰，检测关键为密封面平整度（Ra≤0.8μm）和安装扭矩一致性

检测方法

国际标准：

• ISO3567:2020真空计校准方法（采用静态比对技术，压力点覆盖10^{-8}-10^5Pa）
• ASTME74-2022标准实践用于力测量设备校准（侧重多点校准协议）
• IEC61298-3:2021过程测量控制设备测试方法（包含环境测试程序）

• GB/T1236-2021真空计性能测试规范（使用动态校准法，与国际标准差异在应变速率控制）
• JJG52-2019弹性元件式一般压力表检定规程（针对零点校准，精度要求严于ISO）
• GB/T17626-2018电磁兼容试验标准（EMC测试方法比IEC更具细节化）

检测设备

1.真空标准器：MKS690A型（压力范围10^{-8}Pa至10^5Pa，精度±0.1%）

2.压力控制器：DruckDPI620型（控制精度±0.01%FS，响应时间<0.1s）

3.数据采集系统：NIPXIe-1082型（采样率1MHz，分辨率24位）

4.温度湿度箱：ESPECSH-642型（温度范围-70°C至180°C，湿度控制±1%）

5.振动测试台：LDSV964型（频率5-3000Hz，加速度10g）

6.泄漏检测仪：INFICONJianCe500型（灵敏度1×10^{-12}mbar·L/s，氦气检漏）

7.校准参考规：EdwardsAPG-L型（基准压力精度±0.05%，量程覆盖10^{-7}-1000Pa）

8.信号发生器：Keysight33500B型（输出频率0-120MHz，精度±0.1ppm）

9.数字万用表：Fluke8846A型（电压测量精度±0.002%，电流分辨率0.1μA）

10.环境模拟室：WeissWK11-1800型（温控±0.5°C，真空度≤10^{-6}Pa）

11.恒温槽：JulaboF34型（温度稳定性±0.01°C，范围-90°C至300°C）

12.真空泵系统：LeyboldTURBOVAC351型（极限真空≤5×10^{-9}mbar，抽速350L/s）

13.压力发生器：DHInstruments5300A型（压力范围0-20MPa，精度±0.005%FS）

14.计算机控制系统：LabVIEW软件平台（实时数据处理，控制接口兼容PLC）

15.光谱分析仪：ThermoScientificARLiSpark型（成分检测限0.001%，用于材料特性验证）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。