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超纯水分析

检测项目

电性能检测:

  • 电阻率检测:体积电阻率≥18.2MΩ·cm(参照ASTMD1193)
  • 电导率检测:≤0.055μS/cm(精度±0.5%)
有机污染物检测:
  • 总有机碳检测:TOC≤5ppb(检测限0.03ppb)
  • 有机物残留检测:紫外吸光度≤0.001cm⁻¹
无机离子检测:
  • 阳离子含量检测:钠离子≤0.1ppb、钾离子≤0.1ppb(参照ISO17294)
  • 阴离子含量检测:氯离子≤0.1ppb、硫酸根离子≤0.05ppb
颗粒物检测:
  • 颗粒计数检测:粒径≥0.1μm计数≤1个/mL
  • 颗粒尺寸分布检测:中值粒径分布范围(0.1-5μm)
微生物检测:
  • 总菌落数检测:<1CFU/100mL(参照USP<1231>)
  • 内毒素检测:≤0.001EU/mL(鲎试剂法)
气体含量检测:
  • 溶解氧检测:≤5ppb(光学传感法)
  • 二氧化碳检测:≤100ppb(红外吸收法)
放射性检测:
  • α粒子检测:≤0.1Bq/L
  • β粒子检测:≤1Bq/L(参照ISO10703)
重金属检测:
  • 重金属残留检测:铅≤0.01ppb、铜≤0.02ppb(原子吸收法)
  • 砷含量检测:≤0.05ppb
酸碱度检测:
  • pH值检测:6.5-7.5(精度±0.01)
  • 碱度检测:总碱度≤0.1mg/L
其他特定物检测:
  • 硅含量检测:≤0.01ppb(比色法)
  • 硼酸含量检测:≤0.005ppb(离子色谱法)

检测范围

1.半导体制造用水:用于晶圆清洗及蚀刻工艺,检测重点为颗粒物控制、离子残留及TOC水平,确保无缺陷产生。

2.制药纯化水:应用于注射用水及制剂生产,侧重微生物限度、内毒素及重金属检测,满足GMP合规要求。

3.电力锅炉补给水:用于高压锅炉系统,检测硅酸盐含量、硬度及溶解氧,防止结垢和腐蚀。

4.实验室分析用水:服务于精密仪器清洗,关注电导率、TOC及颗粒物,保障实验数据准确性。

5.微电子清洗用水:涉及光刻及封装过程,重点检测金属离子残留、颗粒计数及气体含量。

6.生物技术用水:用于细胞培养及生物反应器,监测内毒素、微生物及有机物,维持无菌环境。

7.食品工业用水:应用于饮料生产及原料处理,检测异味物质、TOC及重金属,确保食品安全。

8.化妆品配方用水:用于护肤品及洗发水,侧重重金属、微生物及pH值,防止皮肤刺激。

9.冷却系统用水:服务于工业热交换器,检测腐蚀性离子、溶解氧及碱度,优化热效率。

10.研究级超纯水:用于科研实验及标准物质制备,全面涵盖所有项目,包括放射性及硅含量。

检测方法

国际标准:

  • ASTMD1193-06实验室试剂用水规格(电导率测量精度±0.5%)
  • ISO3696:1987分析实验室用水规格(微生物检测限<1CFU/100mL)
  • USP<1231>制药用水标准(内毒素测试使用鲎试剂)
  • JISK0557:2009超纯水测试方法(颗粒计数采用光散射法)
  • IEC60746-3电化学分析性能(pH测量差异:光学法比电极法精度高)
国家标准:
  • GB/T6682-2008分析实验室用水规格(电阻率要求≥18.2MΩ·cm)
  • GB/T33087-2016微电子行业超纯水(TOC检测限0.05ppb)
  • GB17323-1998瓶装饮用纯净水(重金属检测采用原子吸收)
  • GB/T5750-2023生活饮用水标准(微生物方法差异:膜过滤比平板计数快速)
  • GB/T14640-2023工业循环冷却水(溶解氧测量红外法精度优于电化学)

检测设备

1.TOC分析仪:UltraTOC-5000型(检测限0.03ppb,响应时间<3分钟)

2.电导率仪:PureConduct-1800型(范围0.01-20μS/cm,精度±0.3%)

3.颗粒计数器:NanoCount-110型(检测粒径0.05-100μm,流量0.1L/min)

4.离子色谱仪:IonChrom-700型(检测限0.01ppb,多离子同时分析)

5.微生物检测系统:MicroFast-300型(自动培养,检测时限24小时)

6.pH计:AccuPH-10型(精度±0.01,温度补偿-5°C至100°C)

7.原子吸收光谱仪:MetalScan-900型(重金属检测限0.005ppb)

8.放射性检测器:RadSafe-600型(α/β计数范围0.001-100Bq/L)

9.溶解氧仪:OxySense-400型(光学传感器,检测限1ppb)

10.硅分析仪:SilicaMaster-250型(比色法检测限0.01ppb)

11.内毒素检测仪:EndoLux-350型(鲎试剂法,检测限0.001EU/mL)

12.紫外分光光度计:UVSpec-550型(波长范围190-900nm,吸光度精度±0.001)

13.电阻率仪:ResistPro-180型(范围0.01-20MΩ·cm,温度控制±0.1°C)

14.气体分析仪:GasCheck-450型(二氧化碳检测限10ppb)

15.硼酸分析仪:BoronDetect-300型(离子选择性电极法,检测限0.005ppb)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

超纯水分析
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。