检测项目

颗粒尺寸分析：

• 粒径分布：0.1μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm、10.0μm分级统计（参照SEMI C35）
• 中值粒径（D50）：0.5-5.0μm范围偏差±10%

• 颗粒数密度：≥0.1μm颗粒≤100个/mL
• 体积浓度：≤0.01% v/v

• 形态特征：球形度≥0.9（SEM/TEM观测）
• 表面粗糙度：Ra≤0.1μm

• 元素组成：硅、氧、碳含量检测（EDS法，检出限0.1wt%）
• 有机物残留：TOC≤10ppb

• 电导率：0.055μS/cm（25°C）
• pH值：6.0-8.0范围

• 细菌总数：≤1CFU/mL
• 真菌检测：阴性（参照ISO 16232）

• 溶解氧浓度：≤5ppb
• 氧化还原电位：+200mV至+400mV

• 表面张力值：72±1mN/m
• 接触角：≤10°

• 钠离子：≤0.1ppb
• 氯离子：≤0.05ppb

• 沉降速率：≤0.01mm/s
• 悬浮稳定性：≥24小时无沉降

检测范围

1. 酸性清洗液（如SC1）： 重点检测氢氟酸基溶液中颗粒尺寸分布及金属离子残留

2. 碱性清洗液（如SC2）： 侧重氨水基溶液中颗粒浓度及有机物污染

3. 去离子水： 纯水系统中超纯水颗粒数密度及电导率控制

4. 有机溶剂清洗液： 异丙醇等溶剂中颗粒形态及TOC含量

5. 光刻胶去除液： 剥离剂溶液中颗粒尺寸及表面张力稳定性

6. 蚀刻后清洗液： 蚀刻残留液中颗粒化学成分及pH值

7. CMP后清洗液： 抛光浆料清洗液中颗粒浓度及沉降特性

8. 超纯水： 高纯度水系统中微生物污染及离子杂质

9. 混合清洗液： 复合配方中颗粒分布及溶解氧含量

10. 回收清洗液： 再生处理液中颗粒稳定性及污染物累积

检测方法

国际标准：

• SEMI C35-0709 液体颗粒计数方法
• ISO 16232-10 道路车辆-流体清洁度
• ASTM D5127-13 水中阴离子测定

• GB/T 5750.7-2006 生活饮用水标准检验方法
• GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格
• GB/T 15432-2009 大气降水中阴离子测定

检测设备

1. 激光颗粒计数器： ParticleCounter 3000（检测范围0.1-100μm，精度±0.5%）

2. 扫描电子显微镜： SEMPro XT（分辨率0.1nm，放大倍数10-100000x）

3. 透射电子显微镜： TEMUltra HD（点分辨率0.05nm，加速电压300kV）

4. 能谱分析仪： EDSAnalyzer Pro（元素检出限0.01wt%，能量分辨率130eV）

5. 电导率仪： ConductoCheck 500（量程0.01-1000μS/cm，精度±0.1%）

6. pH计： pHMaster 200（范围0-14，精度±0.01）

7. 总有机碳分析仪： TOCSensor Ultra（检出限0.1ppb，温度控制25±0.5°C）

8. 微生物检测系统： MicroBioScan（培养时间24h，检出限1CFU/mL）

9. 表面张力仪： Tensiometer Pro（量程0-100mN/m，精度±0.1mN/m）

10. 离子色谱仪： IonChrom 600（分离时间<10min，检出限0.01ppb）

11. 沉降特性分析仪： SettleRate 400（沉降速率范围0.001-10mm/s）

12. 接触角测量仪： AngleMeasure Pro（角度范围0-180°，精度±0.1°）

13. 氧化还原电位计： RedoxTester 150（范围-1000至+1000mV，精度±1mV）

14. 激光散射粒度仪： SizeMaster 250（粒径分布分析，重复性±1%）

15. 超纯水系统监测器： PureWater Monitor（实时电导率跟踪，警报阈值0.055μS/cm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。