真空计压力检测-检测仪器
检测项目
校准精度检测:
- 绝对误差:[±0.5%FS](参照ISO3567)
- 相对误差:[≤1%读数]
- 零点漂移:[≤0.02%FS/24h]
- 线性偏差:[≤1%FS](参照GB/T15405)
- 拟合优度:[R²≥0.999]
- 短期漂移:[≤0.1%/小时]
- 长期漂移:[≤0.5%/年]
- 上升时间:[≤1秒](90%FS)
- 恢复时间:[≤2秒]
- 温度系数:[±0.05%/°C]
- 热滞后:[≤0.1%]
- 最小可测压力:[10^{-7}Pa]
- 最大可测压力:[10^{5}Pa]
- 标准偏差:[≤0.2%]
- 变异系数:[CV≤0.3%]
- 电磁兼容性:[偏移≤0.1%](参照IEC61000)
- 振动影响:[偏移≤0.05%]
- 工作寿命:[≥5000小时]
- 阴极老化率:[≤2%/1000h]
- 操作温度范围:[-20°C至50°C]
- 湿度范围:[10%至90%RH]
检测范围
1.热阴极电离真空计:用于高真空测量(10^{-7}Pa至10^{-2}Pa),检测重点为阴极发射稳定性和电离效率误差
2.冷阴极电离真空计:适用强磁场环境(10^{-5}Pa至10^{-1}Pa),检测重点为磁场干扰抑制和放电稳定性
3.电容薄膜真空计:覆盖粗至中真空(10^{-1}Pa至10^{5}Pa),检测重点为膜片形变补偿和温度依赖性
4.皮拉尼真空计:基于热传导原理(1Pa至1000Pa),检测重点为气体种类影响和热丝老化
5.热电偶真空计:类似皮拉尼计(0.1Pa至1000Pa),检测重点为热电动势漂移和环境温度响应
6.麦克劳压力计:作为标准参考器(100Pa至10^{5}Pa),检测重点为汞柱高度精度和密封性
7.电离规复合计:多范围组合(10^{-7}Pa至10^{3}Pa),检测重点为量程切换一致性和交叉校准误差
8.残余气体分析仪:集成真空计功能(10^{-10}Pa至10^{-1}Pa),检测重点为质谱分辨率和背景噪声抑制
9.真空校准系统:整体仪器单元(10^{-8}Pa至10^{5}Pa),检测重点为系统整体精度和漏率控制
10.微型真空计:便携式设计(1Pa至1000Pa),检测重点为体积压缩效应和电池供电稳定性
检测方法
国际标准:
- ISO3567:2022Vacuumgauges-Calibrationandmeasurementmethods
- ASTME908-22JianCePracticeforCalibratingVacuumGauges
- IEC61000-4-7:2022Electromagneticcompatibilitytesting
- GB/T15405Vacuumgaugecalibrationprocedures
- JJG999-2023VacuumMeasurementInstrumentVerificationRegulation
- GB/T2423.10-2019Environmentaltestingforinstruments
检测设备
1.真空校准系统:XYZ-2000型(压力范围10^{-8}Pato10^{5}Pa,精度±0.1%)
2.标准漏孔装置:ABC-L100型(漏率范围10^{-10}mbar·L/sto10^{-5}mbar·L/s,稳定性±0.02%)
3.数据采集器:DEF-DAQ500型(采样率1000Hz,分辨率24位,通道数8)
4.温度控制箱:GHI-Temp100型(温度范围-40°Cto100°C,精度±0.5°C)
5.真空泵系统:JKL-RP300型(极限真空10^{-6}Pa,抽速300L/s)
6.压力标准器:MNO-PS100型(参考压力133.322Pa,精度±0.01%)
7.电磁兼容测试仪:PQR-EMC200型(频率范围150kHz-1GHz,场强1V/mto10V/m)
8.振动测试台:STU-Vib500型(加速度0-10g,频率5-2000Hz,位移±5mm)
9.寿命测试台:VWX-LifeTest型(连续运行时间10000小时,温度循环-20°C/50°C)
10.环境模拟室:YZA-EnvSim型(湿度范围5%to95%RH,温度精度±0.3°C)
11.信号发生器:BCD-SigGen型(频率输出0.1Hz-10MHz,幅度0-10V)
12.多通道记录仪:CDE-Record8型(存储容量128GB,采样间隔1μs)
13.校准比较器:EFG-Comp100型(分辨率0.001%,量程0-100%FS)
14.真空腔体:HIJ-Chamber50型(容积50L,材料316L不锈钢,漏率≤10^{-9}mbar·L/s)
15.压力传感器:KLM-PSens型(压力范围0-1000Pa,精度±0.05%,响应时间100ms)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。