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真空计压力检测-检测仪器

检测项目

校准精度检测:

  • 绝对误差:[±0.5%FS](参照ISO3567)
  • 相对误差:[≤1%读数]
  • 零点漂移:[≤0.02%FS/24h]
线性度检测:
  • 线性偏差:[≤1%FS](参照GB/T15405)
  • 拟合优度:[R²≥0.999]
稳定性检测:
  • 短期漂移:[≤0.1%/小时]
  • 长期漂移:[≤0.5%/年]
响应时间检测:
  • 上升时间:[≤1秒](90%FS)
  • 恢复时间:[≤2秒]
温度依赖性检测:
  • 温度系数:[±0.05%/°C]
  • 热滞后:[≤0.1%]
压力范围验证:
  • 最小可测压力:[10^{-7}Pa]
  • 最大可测压力:[10^{5}Pa]
重复性检测:
  • 标准偏差:[≤0.2%]
  • 变异系数:[CV≤0.3%]
抗干扰检测:
  • 电磁兼容性:[偏移≤0.1%](参照IEC61000)
  • 振动影响:[偏移≤0.05%]
寿命测试:
  • 工作寿命:[≥5000小时]
  • 阴极老化率:[≤2%/1000h]
环境适应性:
  • 操作温度范围:[-20°C至50°C]
  • 湿度范围:[10%至90%RH]

检测范围

1.热阴极电离真空计:用于高真空测量(10^{-7}Pa至10^{-2}Pa),检测重点为阴极发射稳定性和电离效率误差

2.冷阴极电离真空计:适用强磁场环境(10^{-5}Pa至10^{-1}Pa),检测重点为磁场干扰抑制和放电稳定性

3.电容薄膜真空计:覆盖粗至中真空(10^{-1}Pa至10^{5}Pa),检测重点为膜片形变补偿和温度依赖性

4.皮拉尼真空计:基于热传导原理(1Pa至1000Pa),检测重点为气体种类影响和热丝老化

5.热电偶真空计:类似皮拉尼计(0.1Pa至1000Pa),检测重点为热电动势漂移和环境温度响应

6.麦克劳压力计:作为标准参考器(100Pa至10^{5}Pa),检测重点为汞柱高度精度和密封性

7.电离规复合计:多范围组合(10^{-7}Pa至10^{3}Pa),检测重点为量程切换一致性和交叉校准误差

8.残余气体分析仪:集成真空计功能(10^{-10}Pa至10^{-1}Pa),检测重点为质谱分辨率和背景噪声抑制

9.真空校准系统:整体仪器单元(10^{-8}Pa至10^{5}Pa),检测重点为系统整体精度和漏率控制

10.微型真空计:便携式设计(1Pa至1000Pa),检测重点为体积压缩效应和电池供电稳定性

检测方法

国际标准:

  • ISO3567:2022Vacuumgauges-Calibrationandmeasurementmethods
  • ASTME908-22JianCePracticeforCalibratingVacuumGauges
  • IEC61000-4-7:2022Electromagneticcompatibilitytesting
国家标准:
  • GB/T15405Vacuumgaugecalibrationprocedures
  • JJG999-2023VacuumMeasurementInstrumentVerificationRegulation
  • GB/T2423.10-2019Environmentaltestingforinstruments
ISO标准采用帕斯卡单位并强调不确定度评估,GB标准允许使用托尔单位并注重实验室环境控制(如温湿度稳定性要求差异)

检测设备

1.真空校准系统:XYZ-2000型(压力范围10^{-8}Pato10^{5}Pa,精度±0.1%)

2.标准漏孔装置:ABC-L100型(漏率范围10^{-10}mbar·L/sto10^{-5}mbar·L/s,稳定性±0.02%)

3.数据采集器:DEF-DAQ500型(采样率1000Hz,分辨率24位,通道数8)

4.温度控制箱:GHI-Temp100型(温度范围-40°Cto100°C,精度±0.5°C)

5.真空泵系统:JKL-RP300型(极限真空10^{-6}Pa,抽速300L/s)

6.压力标准器:MNO-PS100型(参考压力133.322Pa,精度±0.01%)

7.电磁兼容测试仪:PQR-EMC200型(频率范围150kHz-1GHz,场强1V/mto10V/m)

8.振动测试台:STU-Vib500型(加速度0-10g,频率5-2000Hz,位移±5mm)

9.寿命测试台:VWX-LifeTest型(连续运行时间10000小时,温度循环-20°C/50°C)

10.环境模拟室:YZA-EnvSim型(湿度范围5%to95%RH,温度精度±0.3°C)

11.信号发生器:BCD-SigGen型(频率输出0.1Hz-10MHz,幅度0-10V)

12.多通道记录仪:CDE-Record8型(存储容量128GB,采样间隔1μs)

13.校准比较器:EFG-Comp100型(分辨率0.001%,量程0-100%FS)

14.真空腔体:HIJ-Chamber50型(容积50L,材料316L不锈钢,漏率≤10^{-9}mbar·L/s)

15.压力传感器:KLM-PSens型(压力范围0-1000Pa,精度±0.05%,响应时间100ms)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

真空计压力检测-检测仪器
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。