气态氟化物检测
检测项目
氟化氢(HF):浓度范围0.01-50 mg/m³,检测限≤0.005 mg/m³
四氟化硅(SiF4):量程0.1-100 ppm,相对误差±5%
六氟化硫(SF6):检测精度0.1 ppb,线性范围0.1-1000 ppb
氟气(F2):安全阈值0.1 ppm,响应时间≤30秒
全氟异丁烯(C4F8):色谱分离度≥1.5,定量重复性RSD<3%
检测范围
化工生产废气:含氟聚合物裂解气、制冷剂生产尾气
半导体制造工艺气体:蚀刻工艺中的CF4、C2F6混合气体
环境空气监测:工业园区周边大气氟化物本底值
金属表面处理酸雾:铝材阳极氧化产生的HF蒸汽
建筑材料热解气体:含氟防火材料燃烧释放气体
检测方法
ASTM D3266-22:采用甲基红指示剂吸收法测定HF浓度
ISO 21438-1:2023:离子色谱法检测工作场所空气中可溶性氟化物
GB/T 16032-2021:硝酸钍滴定法测定车间空气中氟化物
HJ 480-2021:滤膜采样-氟离子选择电极法环境空气检测
EPA Method 13A:固定污染源氟化物等速采样与分光光度分析法
检测设备
Thermo Fisher ISQ 7000 GC-MS:配备PLOT-Q色谱柱,实现C4F8等痕量组分定性定量
Horiba VA-5000氟化物分析仪:基于激光吸收光谱,量程0-200 ppm,分辨率0.01 ppm
Siemens Ultramat 23 NDIR分析仪:双光束非分散红外检测SF6,漂移<1%FS/周
SKC AirChek XR5000采样泵:流量范围5-5000 mL/min,支持NIOSH 7902方法
Metrohm 930 Compact IC Flex离子色谱仪:配备Metrosep A Supp 16色谱柱,检出限0.1 μg/m³
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。