角位移光栅检测
检测项目
线性度误差:±0.5角秒至±3角秒
重复定位精度:≤0.1角秒(RMS)
信号周期均匀性:±0.05% F.S.
温度漂移系数:0.002角秒/℃
动态响应频率:10kHz~1MHz带宽测试
检测范围
玻璃基光栅尺(线膨胀系数≤5×10⁻⁷/℃)
金属反射式圆光栅(直径Φ50mm~Φ800mm)
光电编码器组件(分辨率0.001°~0.0001°)
陶瓷基微型光栅(尺寸≤10mm×10mm)
多圈绝对式光栅系统(圈数≥4096)
检测方法
ISO 230-2:2014 机床检验规范-回转轴定位精度
ASTM E2840-13 光学编码器性能表征标准
GB/T 17421.2-2016 机床检验通则-几何精度
IEC 62008:2005 数字量具性能评定方法
JJG 994-2018 圆光栅传感器检定规程
检测设备
Renishaw XL-80激光干涉仪:分辨率0.001角秒
Hexagon Leitz PMM-C 三坐标测量机:空间精度0.6+L/400μm
Keysight 33500B信号发生器:输出频率1μHz~30MHz
Micro-Epsilon capiNCDT 2300电容传感器:分辨率0.01μm
PI C-863 Mercury数字控制器:闭环控制带宽5kHz
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。