内容页头部

电迁移检测

检测项目

平均失效时间(MTTF):测试电流密度1×10⁶ A/cm²至5×10⁶ A/cm²下的失效时间

电阻变化率:监测通电后电阻值波动范围(±0.5%至±5%)

临界电流密度阈值:测定材料发生电迁移的临界值(典型范围1.5×10⁴~3×10⁴ A/cm²)

激活能计算:通过Arrhenius模型计算活化能(单位:eV)

空洞/晶须形貌分析:记录空洞直径(0.1~5 μm)及分布密度(10²~10⁴/cm²)

检测范围

半导体材料:铜互连线(线宽≤100 nm)、铝基合金薄膜

微电子封装材料:Sn-Ag-Cu焊料、Au/Ni金属化层

导电胶粘剂:银填充环氧树脂(Ag含量70%~85%)

PCB基板材料:FR-4玻璃纤维板、聚酰亚胺柔性基材

纳米金属材料:铜纳米线(直径≤50 nm)、石墨烯复合导电膜

检测方法

国际标准: ASTM F1260(金属薄膜电迁移评估)、JESD61A(集成电路可靠性测试)、IEC 62373(功率器件加速试验)

国家标准: GB/T 4937.2-2023(半导体器件稳态寿命试验)、GB/T 2423.28(电子元件温度梯度法)

行业方法: Black方程建模(J²·exp(-Q/kT))、扫描开尔文探针力显微镜(SKPFM)原位观测

检测设备

Keithley 4200A-SCS参数分析仪: 支持0.1 fA~1 A电流分辨率,实时监测电阻漂移

Tescan Mira3 XMH扫描电镜: 配备EDS能谱模块,实现亚微米级空洞形貌分析

SUSS MicroTec Probe Station: 温控范围-65℃~300℃,支持多通道并行测试

Thermo Fisher Helios G4 PFIB: 聚焦离子束系统用于截面样品制备(定位精度±10 nm)

Agilent B1500A功率器件分析仪: 脉冲电流模式测试(脉宽1 μs~1 s),避免焦耳热干扰

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

电迁移检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。