光电子集成电路检测
检测项目
1.光电响应特性:包含响应度(A/W)、量子效率(%)、线性度(dB)及动态范围(dB)测量
2.波长精度:中心波长偏移量(nm)、光谱半宽(nm)及边模抑制比(dB)
3.暗电流特性:反向偏压下的漏电流(nA)、噪声等效功率(W/√Hz)及击穿电压(V)
4.调制带宽:3dB带宽(GHz)、眼图质量(Q因子)及上升/下降时间(ps)
5.热稳定性:工作温度范围(℃)、热阻(℃/W)及波长温度漂移系数(pm/℃)
检测范围
1.III-V族半导体激光器芯片(GaAs/InP基)
2.硅基光电探测器阵列(Si/Ge材料体系)
3.铌酸锂电光调制器芯片(LiNbO3基)
4.氮化硅波导材料(Si3N4薄膜)
5.混合集成封装模块(含TIA/Driver芯片)
检测方法
1.光电响应测试:ASTMF1241-22《光探测器响应度测试规程》、GB/T15651-2020《半导体光电子器件测试方法》
2.光谱特性分析:IEC61280-1-3光纤通信子系统测试标准、ISO/IEC14763-3光器件测试规范
3.高频参数测量:GB/T17573-2021《半导体器件分立器件测试方法》、IEC60747-5-3光电耦合器测试标准
4.可靠性试验:MIL-STD-883HMethod1015温度循环试验、JESD22-A104F机械冲击测试
5.失效分析:SEMIMF1619-1109显微红外热成像技术、GB/T4937-2018半导体器件机械气候试验方法
检测设备
1.KeysightN7788B光谱分析仪:波长范围600-1700nm,分辨率0.02nm
2.AgilentB1500A半导体参数分析仪:最小电流分辨率0.1fA,电压范围100V
3.TektronixDPO70000SX示波器:70GHz带宽,支持256Gb/s信号完整性分析
4.NewportOrielCS260B太阳模拟器:光谱匹配度AM1.5GClassAAA级
5.FormFactorCM300xi探针台:支持300mm晶圆级光电参数测试
6.AnritsuMP2110A误码率测试仪:最大速率64GBaud,灵敏度-30dBm
7.Keithley2636B源表:双通道同步输出能力达10A脉冲电流
8.ThermoScientificHeliosG4PFIB聚焦离子束系统:5nm分辨率失效分析
9.FlukeTi450红外热像仪:热灵敏度≤0.03℃,空间分辨率1.1mrad
10.Chroma19032-L1温控试验箱:温度范围-70℃~+180℃,变温速率15℃/min
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。