激光准直检测
检测项目
1.准直精度:测量光束中心轴与理论轴线偏差≤0.1mrad
2.光束直径:评估1/e强度处直径范围0.5-50mm
3.发散角:全角测量精度0.05mrad
4.光斑均匀性:强度分布不均匀性≤5%
5.功率稳定性:连续工作8小时波动≤2%
检测范围
1.光学元件:透镜组/反射镜/棱镜等成像系统组件
2.工业激光设备:切割/焊接/打标机光路系统
3.医疗器械:眼科手术激光器/内窥镜导光系统
4.科研仪器:干涉仪/光谱仪光学校准组件
5.半导体设备:光刻机照明系统/晶圆对准模块
检测方法
ASTME3052-22:激光光束宽度测量标准方法
ISO11146-1:2021:激光束参数测试基本要求
GB/T15175-2012:激光光束质量评价通则
ISO15367-1:2003:激光波前畸变测量规范
GB/T31359-2015:半导体激光器测试方法
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪:波前分析精度λ/20@632.8nm
2.OphirSP928UV光束分析仪:CCD分辨率19201080像素
3.NewportAutoAlign自动准直仪:角度分辨率0.1arcsec
4.ThorlabsBP209-IR2功率计:测量范围10μW-10W@190-11000nm
5.KeysightN1076A光斑诊断仪:采样率100kHz@1550nm
6.HamamatsuC10910D光束轮廓仪:动态范围70dB@400-1100nm
7.PIS-340KGS六轴调整台:定位精度0.5μm/1μrad
8.FlukePM100D激光功率探头:校准不确定度1.5%
9.MitutoyoMF-U5140平行光管:焦距500mm0.01%
10.OptoEngineeringTC23080同轴度测试仪:重复精度0.25μm
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。