检测项目

1.电导率：标准值≤0.055μS/cmat25°C，允许偏差±0.005μS/cm，反映离子杂质总量

2.总有机碳（TOC）：含量≤5ppb，检测下限0.5ppb，评估有机污染物水平

3.钠离子浓度：限值≤0.01ppb，使用离子色谱法测定，防止金属污染

4.钾离子浓度：限值≤0.01ppb，与钠离子同步检测，确保碱金属控制

5.铁离子浓度：限值≤0.01ppb，避免氧化和沉积问题

6.颗粒物计数：≥0.1μm颗粒≤100个/mL，≥0.5μm颗粒≤10个/mL，防止晶圆划伤

7.细菌总数：≤1CFU/mL，采用膜过滤法，控制微生物污染

8.pH值：范围6.5-7.5at25°C，偏差±0.1，维持化学稳定性

9.二氧化硅含量：≤1ppb，检测方法为钼蓝比色法，防止硅沉积

10.氯离子浓度：≤0.01ppb，离子色谱测定，避免腐蚀风险

11.溶解氧：≤5ppb，使用电化学传感器，减少氧化效应

12.电阻率：≥18.2MΩ·cmat25°C，偏差±0.1MΩ·cm，综合评估水质纯度

13.铵离子浓度：≤0.01ppb，防止氨污染导致的工艺异常

14.硫酸根离子：≤0.01ppb，离子色谱法，避免酸根积累

15.总溶解固体（TDS）：≤1ppb，计算基于电导率，评估整体杂质

检测范围

1.高纯水系统产水：用于半导体清洗，电导率≤0.055μS/cm，TOC≤5ppb

2.蒸汽发生器出口水：蒸汽纯度要求高，检测金属离子≤0.01ppb，颗粒物≤10个/mL

3.晶圆清洗用水：直接接触硅片，重点控制颗粒物和细菌总数≤1CFU/mL

4.冷却系统循环水：用于设备冷却，监测pH6.5-7.5，氯离子≤0.01ppb

5.化学机械抛光（CMP）用水：要求低颗粒物，≥0.1μm颗粒≤50个/mL

6.超纯水储存罐水：长期储存样品，检测溶解氧≤5ppb，防止降解

7.去离子水再生系统产出：经过离子交换，电阻率≥18.2MΩ·cm，钠离子≤0.01ppb

8.实验室分析用水：用于仪器校准，TOC≤2ppb，二氧化硅≤1ppb

9.光伏制造用水：类似半导体，但允许稍高杂质，如TOC≤10ppb

10.微电子封装用水：用于封装工艺，颗粒物计数≥0.5μm颗粒≤20个/mL

11.试剂配制用水：高纯度要求，检测所有离子浓度≤0.01ppb

12.废水回用水：经过处理后用于非关键环节，TDS≤10ppb，细菌总数≤10CFU/mL

13.注射用水级别：适用于生物半导体领域，细菌内毒素≤0.001EU/mL

14.超声波清洗用水：强调颗粒控制，≥0.1μm颗粒≤80个/mL

15.环境模拟测试用水：用于可靠性验证，所有参数按最严标准执行

检测方法

国际标准：

ASTMD1125-14JianCeTestMethodsforElectricalConductivityofWater

ISO8245:1999WaterQuality—DeterminationofTotalOrganicCarbon(TOC)

ASTMD1293-18JianCeTestMethodsforpHofWater

ISO11885:2007WaterQuality—DeterminationofSelectedElementsbyInductivelyCoupledPlasmaOpticalEmissionSpectrometry(ICP-OES)

ASTMD4453-17JianCeTestMethodforSodiuminWaterbyAtomicAbsorptionSpectroscopy

ISO9308-1:2014WaterQuality—EnumerationofEscherichiacoliandColiformBacteria

ASTMD859-16JianCeTestMethodforSilicainWater

ISO10304-1:2021WaterQuality—DeterminationofDissolvedAnionsbyLiquidChromatographyofIons

ASTMD5462-21JianCeTestMethodforOn-LineMeasurementofLow-LevelDissolvedOxygeninWater

ISO7888:2023WaterQuality—DeterminationofElectricalResistivity

国家标准：

GB/T12145-2016火力发电厂水汽质量标准（适用于高纯水）

GB/T5750.4-2023生活饮用水标准检验方法感官性状和物理指标（扩展至电导率）

GB/T15454-2021工业循环冷却水中钠、铵、钾、镁和钙离子的测定离子色谱法

GB/T17323-2021瓶装饮用纯净水标准（参考用于TOC和电阻率）

GB/T16632-2021水处理剂杂质含量测定方法

GB/T14643-2021工业循环冷却水中菌藻的测定方法

GB/T16137-2021水中氚的分析方法（适配溶解氧检测）

GB/T16488-2021水质石油类和动植物油类的测定红外分光光度法（用于有机污染）

GB/T17378.4-2021海洋监测规范第4部分：海水分析（用于离子色谱）

GB/T13922-2021水处理设备性能试验方法

检测设备

1.电导率仪：型号CD-2100，测量范围0.001-100μS/cm，精度±0.5%

2.总有机碳分析仪：型号TOC-600，检测下限0.1ppb，采用高温催化氧化法

3.离子色谱仪：型号IC-1000，可同时检测多种阴离子和阳离子，分辨率0.1ppb

4.颗粒计数器：型号PC-200，粒径范围0.1-10μm，计数精度±5%

5.原子吸收光谱仪：型号AAS-500，用于金属离子分析，检测限0.001ppb

6.pH计：型号PH-300，测量范围0-14，精度±0.01

7.微生物检测系统：型号MB-100，采用膜过滤法，自动菌落计数

8.激光颗粒分析仪：型号LPA-400，用于实时颗粒监测，输出粒径分布

9.溶解氧测定仪：型号DO-150，电化学传感器，范围0-20ppb，精度±0.5ppb

10.高纯水电阻率仪：型号RES-180，测量范围0.1-20MΩ·cm，温度补偿自动进行

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。