外延堆垛层错检测-检测项目
外延堆垛层错检测主要涉及对半导体外延层中堆垛层错的检测和分析，以确保外延层的质量和性能符合要求。显微镜观察：使用光学显微镜或电子显微镜对外延层进行直接观察，寻找堆垛层
更多..外延堆垛层错检测主要涉及对半导体外延层中堆垛层错的检测和分析，以确保外延层的质量和性能符合要求。显微镜观察：使用光学显微镜或电子显微镜对外延层进行直接观察，寻找堆垛层
更多..外延隔离检测通常用于评估半导体器件中的外延层与衬底之间的隔离性能，以确保器件的正常工作和可靠性。
电容-电压（C-V）测试：测量外延层与衬底之间的电容，评估隔离性能。
漏电测试
外延硅检测通常包括对硅材料的物理、化学、电学性能的测试，以确保它们适用于特定的应用和满足相关的质量标准。
晶体结构分析：通过 X 射线衍射等方法确定外延硅的晶体结构和取
外延生长膜检测是对在基底上生长的外延膜进行的一系列测试和分析，以评估其质量、性能和可靠性。膜厚测量：使用光学干涉仪、扫描电子显微镜（SEM）或其他方法确定外延膜的厚度。成
更多..外延长度检测是对半导体外延层长度进行测量和评估的过程。以下是一些常见的外延长度检测项目：
扫描电子显微镜（SEM）测量：使用 SEM 观察外延层的表面形貌，并测量其长度。
原子力显