检测项目

1.气体浓度检测：测量范围0.1-1000ppm，分辨率0.01ppm2.纯度分析：纯度≥99.999%时杂质总量≤10ppm3.硫化氢（H₂S）残留：检出限≤0.05ppm4.砷化氢（AsH₃）残留：检出限≤0.02ppm5.水分含量：露点温度≤-70℃对应含水量≤1ppmv

检测范围

1.电子工业用特种气体原料2.半导体材料合成过程监控3.熏蒸剂产品PH₃有效成分测定4.化工生产中间体质量控制5.环境监测中的工业废气排放

检测方法

1.ASTMD7833-14：气相色谱法测定磷化氢纯度2.ISO19238:2014：放射性核素污染监测配套方法3.GB/T34797-2017：傅里叶红外光谱定量分析法4.GB12373-90：工业废气中PH₃的钼酸铵分光光度法5.ISO14167:2018：激光光谱法在线监测技术规范

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配备FPD检测器，最小检出量0.005ppm2.ThermoScientificISQ7000单四极杆质谱仪：质量范围1-1050amu3.PerkinElmerSpectrum3傅里叶红外光谱仪：分辨率0.4cm⁻4.SiemensLDS6激光气体分析仪：测量精度1%FS5.MettlerToledoC30卡尔费休水分测定仪：分辨率0.1μgH₂O6.HORIBAVA-9000系列在线式气体分析系统：响应时间＜10s7.DrgerX-am8000便携式多气体检测仪：量程0-50ppmPH₃8.TeledyneAPIT200U化学发光分析仪：NO干扰补偿功能9.INFICONHAPSITEER便携式GC-MS：现场快速筛查系统10.AMETEK5100E微量氧分析仪：测量下限0.01ppmO₂

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。