检测项目

1.束流强度：测量范围0.1-100mA，精度0.5%FS2.能量密度分布：扫描分辨率0.1mm，动态范围60dB3.束斑直径：测量误差≤1μm（Φ50μm基准）4.真空度维持：极限真空度≤510⁻⁵Pa5.热效应分析：温度梯度监测0.5℃/cm

检测范围

1.金属材料：不锈钢基板（AISI304/316）、钛合金（Ti-6Al-4V）2.半导体器件：硅晶圆（Φ200mm/300mm）、GaN外延片3.陶瓷基材：氧化铝（Al₂O₃≥99%）、氮化硅（Si₃N₄）4.光学元件：熔融石英镜片（λ/10表面精度）5.复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP层压板）

检测方法

1.ASTME1648-20：电子束均匀性测试规程2.ISO14706:2021：表面电荷分布测定法3.GB/T12604.6-2021：工业CT检测通用规范4.ISO15746-2016：自动化控制系统集成要求5.GB/T28872-2012：微束分析能谱定量方法

检测设备

1.KEITHLEY2450源表：四象限电源系统（0-1000V/3A）2.ThermoScientificDXR3显微拉曼光谱仪：532nm激光源3.AgilentB1500A半导体分析仪：1fA分辨率电流测量4.PfeifferHIPACE700分子泵组：抽速700L/s（N₂）5.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000倍光学放大6.FLIRX8500sc红外热像仪：12801024像素分辨率7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.1垂直分辨率8.HamamatsuC10910D电子倍增CCD：单光子灵敏度9.OmicronISE10束流分析仪：0.1%电流稳定性10.ZEISSCrossbeam550LFIB-SEM双束系统：1nm成像分辨率

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。