检测项目

1.电阻率监测：超纯水电导率倒数，表征水中离子杂质总量，典型值需大于18兆欧·厘米，在线实时监测，温度补偿校正，历史数据追踪，异常报警设置，多点分布测量，长期稳定性评估，校准周期管理，传感器维护记录，数据导出分析，趋势图表生成，合规性验证等。

2.总有机碳含量测定：水中总有机碳浓度，包括溶解性有机碳和颗粒有机碳，检测下限达ppb级，氧化法或紫外过硫酸盐法，在线与离线模式，取样体积控制，试剂纯度验证，背景扣除，标准曲线绘制，重复性测试，干扰物排除，系统清洁度检查，数据准确性确认，方法验证报告等。

3.颗粒物计数与尺寸分布：水中悬浮颗粒数量及粒径，范围从0.1微米至100微米，激光散射原理，在线颗粒计数器，多点采样，统计分布分析，浓度阈值设定，污染源识别，趋势监控，校准用标准颗粒，清洁程序遵循，环境防污染措施，数据存储与导出，合规标准对比等。

4.细菌总数与微生物检测：水中总细菌数、真菌及内毒素，培养法或快速检测法，取样频率设定，培养基准备，孵育条件控制，菌落计数，阳性对照设置，无菌操作规范，消毒验证，生物膜风险评估，数据记录，超标处理流程，长期趋势分析等。

5.溶解氧浓度测量：水中溶解氧含量，电化学或光学传感器，检测范围从ppb至ppm级，温度与压力补偿，校准气体使用，响应时间测试，零点与跨度检查，数据记录，异常波动监测，系统维护日志，合规性评估等。

6.硅含量分析：总硅、溶解硅及胶体硅浓度，分光光度法或电感耦合等离子体法，样品预处理，标准溶液制备，干扰消除，检测限验证，重复性分析，数据报告，趋势跟踪，超标警报等。

7.金属离子含量检测：钠、钾、钙、镁、铁、铜、锌等金属离子，电感耦合等离子体质谱法或原子吸收法，样品酸化处理，标准曲线建立，检测下限至ppt级，空白对照，加标回收率测试，数据准确性确认，多元素同时分析，历史数据比较等。

8.阴离子与阳离子分析：氯离子、硝酸根、硫酸根等阴离子及铵离子等阳离子，离子色谱法，淋洗液选择，色谱柱维护，检测器校准，样品过滤，标准品验证，数据积分，峰识别，定量计算，方法稳健性评估等。

9.总溶解固体测定：水中总溶解固体含量，重量法或电导率推算，样品蒸发干燥，恒重测量，温度控制，空白校正，数据记录，合规性检查，长期稳定性监控等。

10.氧化还原电位监测：水中氧化还原电位值，电极法，在线实时测量，参考电极校准，温度影响修正，数据趋势分析，异常值标记，系统清洁，维护计划执行等。

11.酸碱度与电导率关联分析：酸碱度值及与电导率相关性，玻璃电极法，缓冲液校准，温度补偿，多点校准验证，数据记录，趋势图表，超标处理，系统稳定性评估等。

12.内毒素与热原检测：细菌内毒素含量，鲎试剂法，样品稀释，阳性对照，反应时间控制，吸光度测量，标准曲线绘制，数据计算，合规标准对比，长期监控等。

13.挥发性有机物筛查：水中挥发性有机物如苯、甲苯等，吹扫捕集气相色谱法，样品保存条件，标准品制备，检测限验证，数据报告，趋势分析，污染源调查等。

14.浊度与色度测量：水的浊度及色度值，散射光法或比色法，标准浊度液校准，样品均匀性检查，数据记录，长期稳定性评估，合规性验证等。

15.生物活性物质检测：微生物代谢产物及生物膜成分，酶联免疫法或分子生物学方法，样品预处理，标准曲线建立，数据准确性确认，趋势监控，预防措施制定等。

检测范围

1.晶圆清洗工序：用于去除晶圆表面颗粒、金属离子及有机污染物；在光刻、蚀刻、离子注入前后步骤应用；要求超低总有机碳、颗粒数及细菌总数；防止缺陷产生及良率下降；在线监测与离线验证结合；高纯度水循环系统集成；多点采样分布设计；长期数据追踪分析；合规标准严格执行等。

2.化学品稀释与配制：用于稀释光刻胶、蚀刻液等半导体化学品；确保化学试剂纯度及稳定性；防止杂质引入导致反应异常；在线电阻率及总有机碳实时监控；取样频率根据工艺要求设定；数据记录与报告生成；异常处理流程实施等。

3.冷却系统与热交换：超纯水作为冷却介质在设备热交换系统中使用；要求低电导率及微生物含量；防止结垢及腐蚀；温度与压力参数关联监测；长期稳定性评估；维护周期优化等。

4.超纯水储存与分配：储罐及管道系统中超纯水质量维护；防止二次污染及水质降解；在线监测点设置；清洁消毒程序遵循；数据实时传输；趋势分析预警等。

5.芯片封装与测试：在封装过程中用于清洗及冷却；测试阶段防止水質污染影响性能；要求持续低金属离子及颗粒物；多点检测网络部署；历史数据比对分析；合规性审计支持等。

6.去离子水预处理阶段：原水经过反渗透、离子交换等预处理后水质监测；检测参数包括电导率、总溶解固体及硅含量；确保进入超纯化系统前水质达标；数据记录与报告生成；异常处理机制执行等。

7.超纯化系统出口监测：超纯化设备出水点水质实时监控；关键参数如电阻率、总有机碳及细菌总数；校准与维护计划实施；数据导出与存档；长期性能评估等。

8.工艺设备内部循环：半导体制造设备内部超纯水循环系统；如化学机械抛光、清洗机等；要求高纯度以防止设备腐蚀及产品污染；在线传感器部署；实时警报系统集成；数据可视化界面使用等。

9.实验室分析与质量控制：用于半导体材料研发及质量检测实验；要求超低杂质及微生物；取样与分析程序标准化；数据准确性验证；报告生成与分发等。

10.废水处理与回用：半导体制造废水经处理后回用或排放前水质监测；检测项目包括重金属、有机物及微生物；合规标准遵循；环境影响评估；数据记录与审计等。

11.洁净室环境维护：超纯水在洁净室加湿及清洗应用中；防止微生物滋生及颗粒物释放；在线监测与定期抽查结合；数据趋势分析；预防性措施制定等。

12.高纯度气体生产辅助：在半导体用高纯度气体如氮气、氧气生产过程中，超纯水用于清洗及冷却；要求持续低电导率及总有机碳；多点监测网络；数据集成系统；长期稳定性监控等。

13.研发与中试生产线：半导体新工艺开发及中试阶段超纯水应用；小规模系统监测；参数定制化设置；数据快速反馈；优化建议提供等。

14.批量生产与连续运行：大规模半导体制造中超纯水持续供应；要求24/7在线监测；异常自动响应；数据备份与恢复；合规报告生成等。

15.应急与备份系统：超纯水系统故障或污染事件中备用水源监测；快速检测参数如电阻率及总有机碳；数据实时传输；处理措施启动；事后分析报告等。

检测标准

国际标准：

ASTM D1193、ISO 3696、SEMI F63、ASTM D5127、ISO 17025、ASTM D5997、ISO 1183、ASTM D6508、ISO 15839、SEMI F57、ASTM D7511、ISO 20468、SEMI C42、ASTM D7644、ISO 22743、SEMI F78

国家标准：

GB/T 6682、GB/T 5750、GB/T 17323、GB/T 17324、GB/T 17325、GB/T 17326、GB/T 17327、GB/T 17328、GB/T 17329、GB/T 17330、GB/T 17331、GB/T 17332、GB/T 17333、GB/T 17334、GB/T 17335

检测设备

1.在线电阻率仪：实时监测超纯水电阻率，检测范围从去离子水到超纯水，精度高，响应快，温度补偿功能，数据输出接口，校准周期管理，传感器耐用性测试，多点部署能力，历史数据存储，异常警报系统，清洁维护程序，数据准确性验证，长期稳定性评估等。

2.总有机碳分析仪：测定水中总有机碳浓度，采用紫外过硫酸盐氧化法或高温催化法，检测下限至ppb级，在线或离线模式，自动取样，标准曲线校准，干扰物排除，数据记录与导出，系统维护日志，合规标准对比等。

3.激光颗粒计数器：测量水中颗粒物数量及粒径分布，基于光散射原理，检测范围0.1微米至100微米，多点采样能力，统计数据分析，校准用标准颗粒，清洁防污染设计，数据存储功能，趋势监控报告等。

4.微生物检测系统：包括培养箱、菌落计数器及内毒素检测仪，用于细菌总数、真菌及热原分析，取样体积控制，无菌操作规范，阳性对照设置，数据准确性确认，长期趋势分析，超标处理流程等。

5.溶解氧分析仪：电化学或光学传感器测量溶解氧浓度，温度与压力补偿，校准气体使用，响应时间测试，数据记录，异常波动监测，系统维护计划，合规性评估等。

6.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量金属离子分析，检测下限至ppt级，多元素同时测定，样品预处理设备，标准曲线建立，空白对照，加标回收率测试，数据报告生成，方法验证记录等。

7.离子色谱仪：分析水中阴离子及阳离子含量，淋洗液系统，色谱柱维护，检测器校准，样品过滤装置，标准品验证，数据积分软件，定量计算功能，稳健性评估等。

8.分光光度计：测量硅含量、浊度及色度等参数，基于吸光度原理，标准溶液制备，干扰消除措施，检测限验证，重复性分析，数据导出，趋势跟踪，超标警报等。

9.总溶解固体测定仪：重量法或电导率法测量总溶解固体，样品蒸发装置，恒重测量功能，温度控制，空白校正，数据记录，合规性检查，长期稳定性监控等。

10.氧化还原电位计：电极法监测氧化还原电位，在线实时测量，参考电极校准，温度影响修正，数据趋势分析，异常值标记，系统清洁程序，维护计划执行等。

11.吹扫捕集气相色谱仪：用于挥发性有机物筛查，样品保存系统，标准品制备，检测限验证，数据报告，趋势分析，污染源调查等。

12.内毒素检测仪：基于鲎试剂法测量细菌内毒素，样品稀释设备，阳性对照设置，反应时间控制，吸光度测量，标准曲线绘制，数据计算，合规标准对比，长期监控等。

13.浊度计与色度计：散射光法或比色法测量浊度及色度，标准浊度液校准，样品均匀性检查，数据记录，长期稳定性评估，合规性验证等。

14.生物活性检测设备：包括酶联免疫分析仪及分子生物学仪器，用于微生物代谢产物及生物膜成分分析，样品预处理系统，标准曲线建立，数据准确性确认，趋势监控，预防措施制定等。

15.数据集成与监控系统：将多个检测设备数据整合，实时显示、存储与分析，警报功能，报告生成，数据备份，系统维护，合规审计支持等。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。