检测项目

精度检测：

• 绝对压力误差：±0.5%FS（参照ISO 3567）
• 相对误差：≤1%
• 校准偏差：±0.2%

线性度检测：

• 线性误差：±0.2%FS
• 非线性度：≤0.5%
• 满量程线性：±0.3%

稳定性检测：

• 短期稳定性：±0.1%/小时
• 长期漂移：≤1%/年
• 零点稳定性：±0.05%

温度影响检测：

• 温度系数：≤0.01%/°C
• 温度范围适应性：-20°C至50°C
• 热滞后：≤0.02%

压力范围检测：

• 最小可测压力：1e-9 Pa
• 最大可测压力：1000 hPa
• 范围切换误差：±0.4%

响应时间检测：

• 上升时间：≤0.5秒
• 下降时间：≤1秒
• 阶跃响应：±0.3秒

重复性检测：

• 重复性误差：±0.3%
• 循环稳定性：≤0.4%
• 多次测量偏差：±0.2%

零点漂移检测：

• 零点漂移：≤0.1%/天
• 零位补偿误差：±0.05%
• 开机漂移：≤0.2%

灵敏度检测：

• 灵敏度变化：≤5%
• 信号输出线性：±0.6%
• 增益稳定性：≤0.3%/月

环境适应性检测：

• 湿度影响：≤0.05%/RH%
• 振动影响：≤0.02%/g
• 电磁干扰：±0.1%

检测范围

1. 热阴极电离真空计： 检测重点在高压下的离子电流稳定性和放电特性校准。

2. 冷阴极磁控真空计： 检测重点在低压下的灵敏度验证和磁场影响分析。

3. 电容薄膜真空计： 检测重点在精度优化和温度补偿性能评估。

4. 皮拉尼真空计： 检测重点在热导率变化测试和温度依赖性校正。

5. 压阻式真空计： 检测重点在压阻效应线性度和应力影响验证。

6. 石英晶体微天平真空计： 检测重点在频率偏移精度和质量敏感度测定。

7. 电离规真空计： 检测重点在电子发射稳定性校准和气体类型影响分析。

8. 复合真空计： 检测重点在多传感器融合精度验证和交叉干扰测试。

9. 便携式真空计： 检测重点在电池寿命评估和环境适应性验证。

10. 高真空计： 检测重点在超高真空下的最小可测压力极限和残余气体分析。

检测方法

国际标准：

• ISO 3567 真空计校准方法（使用静态膨胀法，气体类型特定）
• ASTM E595 真空材料放气测试（测量放气率，温度范围-55°C至125°C）
• ISO 27893 真空技术-真空计性能评估（涵盖线性度测试，压力点间隔0.1%）

国家标准：

• GB/T 15478 真空计校准规范（采用比较法，校准温度20°C±2°C）
• GB/T 20123 真空技术-压力测量方法（规定响应时间测试，采样率10Hz）
• GB/T 16825 真空计性能试验方法（包括稳定性验证，测试周期48小时）

方法差异说明：ISO 3567要求使用氮气校准而GB/T 15478允许氩气，ASTM E595指定低温测试而GB/T 20123覆盖常温范围。

检测设备

1. 标准真空系统： 压力控制器（范围1e-9 to 1000 Torr，精度±0.15%）

2. 数据采集系统： 高速数据记录仪（采样率1MHz，分辨率16-bit）

3. 温度控制箱： 温度试验箱（范围-40°C to 150°C，稳定性±0.5°C）

4. 校准真空计： 参考标准计（精度±0.1%，量程10^{-8} Pa至10^3 Pa）

5. 压力发生器： 可编程压力源（输出范围0.1 Pa至100 kPa，重复性±0.05%）

6. 湿度控制箱： 恒湿箱（湿度范围10%至90%RH，控制精度±2%）

7. 振动测试台： 电磁振动系统（频率范围5Hz至2000Hz，加速度0.1g至10g）

8. 电磁兼容测试仪： EMC分析仪（频率范围10Hz至1GHz，场强10V/m）

9. 信号放大器： 低噪声放大器（增益1000倍，带宽DC至100kHz）

10. 零点校准装置： 零点调整器（精度±0.01%，操作温度-20°C至50°C）

11. 响应时间测试仪： 阶跃信号发生器（上升时间<10ms，输出幅度0-10V）

12. 线性度验证系统： 多点校准平台（压力点10点，间隔均匀）

13. 稳定性监测设备： 长期漂移记录仪（采样间隔1秒，存储容量1TB）

14. 温度系数测试仪： 温度梯度箱（梯度±1°C/min，控制精度±0.1°C）

15. 环境模拟箱： 综合环境试验箱（集成温湿度振动，符合MIL-STD）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。