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文章概述：真空密封性检测可以使用以下仪器：
1. 真空泵：用于建立和维持被测物件所需的真空环境。
2. 气密性测试仪：可测量被测物件的气密性，包括泄漏率和泄漏位置。
3. 氦质谱仪：通过检测氦
真空密封性检测可以使用以下仪器：
1. 真空泵：用于建立和维持被测物件所需的真空环境。
2. 气密性测试仪：可测量被测物件的气密性，包括泄漏率和泄漏位置。
3. 氦质谱仪：通过检测氦气的泄漏来确定被测物件的气密性。
4. 气体泄漏检测仪：用于检测被测物件的气体泄漏，可以使用不同的气体进行检测，如氦气、氮气等。
5. 气压差检测仪：通过 measuring pressure difference between the inside and outside of the tested object to determine its vacuum sealing performance. 。
