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文章概述：真空数值检测主要用到的仪器有：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子计、热阴极电离规、毛细计等。
2.大气压差计：用于测量真空系统与大气之间的压差，一般使用压差
真空数值检测主要用到的仪器有：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子计、热阴极电离规、毛细计等。
2.大气压差计：用于测量真空系统与大气之间的压差，一般使用压差计或压差变送器。
3.温度计：用于测量真空系统内部的温度变化，可以使用热电偶、热电阻或红外线温度计等。
4.真空泵：用于抽取真空系统中的气体，常见的有机械泵、分子泵、扩散泵等。
5.漏率检漏仪：用于检测真空系统的漏率，一般采用氦质谱检漏仪或测气法检漏仪。
