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文章概述：1. 光学比较仪：用于测量零件的直线度、平面度等几何误差。
2. 二维坐标测量机：可实现对平面的直线度、圆度、角度等误差的检测。
3. 光栅尺：用于测量机床、加工设备等的正直度
1. 光学比较仪：用于测量零件的直线度、平面度等几何误差。
2. 二维坐标测量机：可实现对平面的直线度、圆度、角度等误差的检测。
3. 光栅尺：用于测量机床、加工设备等的正直度误差。
4. 激光干涉仪：利用干涉原理进行测量，可用于测量平面、直线的正直度误差。
