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文章概述：用到的仪器如下：
1. X射线衍射仪：用于分析钨阳极的晶体结构和组织。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察钨阳极的表面形貌和微观结构。
3. 能谱仪：用于分析钨阳极的化学元素组成和纯
用到的仪器如下：
1. X射线衍射仪：用于分析钨阳极的晶体结构和组织。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察钨阳极的表面形貌和微观结构。
3. 能谱仪：用于分析钨阳极的化学元素组成和纯度。
4. 电子探针微区分析仪（EPMA）：用于测定钨阳极的成分含量和分布。
5. 金相显微镜：用于观察钨阳极的金相组织结构和晶粒尺寸。
6. 热重分析仪（TGA）：用于测定钨阳极的热稳定性、热膨胀系数等性质。
