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文章概述：真空气密性检测是一种用于检测材料或产品的气密性能的测试方法。以下是用于真空气密性检测的常用仪器：
1. 真空泵：用于将被测样品抽真空，降低其内部压力。
2. 真空仪：用于测量被
真空气密性检测是一种用于检测材料或产品的气密性能的测试方法。以下是用于真空气密性检测的常用仪器：
1. 真空泵：用于将被测样品抽真空，降低其内部压力。
2. 真空仪：用于测量被测样品的真空度，一般有压力计、真空度计等。
3. 气密性测试装置：通常包括真空室、气动接头等，用于将被测样品与检测设备连接并进行测试。
4. 检漏仪：用于检测被测物体是否存在气体泄漏现象，常见的有激光检漏仪、气泡检漏仪等。
5. 气密性测试软件：用于记录并分析气密性测试的数据，并生成测试报告。
6. 其他辅助设备：如真空密封胶带、真空密封装置等。
