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文章概述：对于圆板单体检测，通常会使用以下仪器：
1. 高精度圆度仪：用于测量圆板的圆度误差，能够精确测量圆盘的轮廓形状和平面度。
2. 表面粗糙度仪：用于测量圆板表面的光洁度和平滑度，能
对于圆板单体检测，通常会使用以下仪器：
1. 高精度圆度仪：用于测量圆板的圆度误差，能够精确测量圆盘的轮廓形状和平面度。
2. 表面粗糙度仪：用于测量圆板表面的光洁度和平滑度，能够检测出表面的微小凹凸和不平整。
3. 光学投影仪：通过投影光源将圆板的轮廓投影到屏幕上，用于测量圆板的尺寸和几何形状。
4. 干涉仪：利用干涉现象测量圆板的薄膜厚度和表面形貌，能够检测出薄膜的光学特性和质量。
5. 反射率测量仪：用于测量圆板材料的反射率，能够评估材料的光学性能和透光能力。
