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文章概述：用于检测余摆线真空泵的仪器包括：
1. 真空计：用于测试真空泵的真空度，常见的有热阴极离子计、热阴极非线性离子计、热阴极恒斯通计、腔体磁控管射线计等。
2. 压力表：用于测量真
用于检测余摆线真空泵的仪器包括：
1. 真空计：用于测试真空泵的真空度，常见的有热阴极离子计、热阴极非线性离子计、热阴极恒斯通计、腔体磁控管射线计等。
2. 压力表：用于测量真空泵的出口压力，可以选用不同量程的压力表，如磁翻板压力表、电容式压力表等。
3. 流量计：用于测量真空泵的抽气速度或气体流速，有质量流量计、热式流量计、差压流量计等不同类型。
4. 温度计：用于测量真空泵的温度，常见的有接触式温度计和非接触式红外温度计。
5. 涡轮转速计：用于测量真空泵的转速，可以使用机械式涡轮转速计或光电式涡轮转速计。
