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文章概述：真空泵检测常用的仪器有：
- 真空度检测仪：用于测量真空泵的真空度，常见的有热阴极真空度计、离子真空度计等。
- 流量计：用于测量真空泵的排气流量，常见的有质量流量计、体积流量
真空泵检测常用的仪器有：
- 真空度检测仪：用于测量真空泵的真空度，常见的有热阴极真空度计、离子真空度计等。
- 流量计：用于测量真空泵的排气流量，常见的有质量流量计、体积流量计等。
- 压力表：用于测量真空泵的进出口压力，常见的有机械压力表、电子压力表等。
- 露点仪：用于测量真空泵排气中的水蒸汽含量，常见的有露点计、湿度计等。
- 颗粒计数器：用于测量真空泵排气中的颗粒污染物含量，常见的有激光颗粒计数器、衰减颗粒计数器等。
