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文章概述：1. 光学投影仪：用于检测内齿轮的外形尺寸、齿廓形状等。
2. 摆线仪：用于测量内齿轮的齿廓、齿向等。
3. 三坐标测量机：用于精确测量内齿轮的各种尺寸和形状参数。
4. 表面粗糙
1. 光学投影仪：用于检测内齿轮的外形尺寸、齿廓形状等。
2. 摆线仪：用于测量内齿轮的齿廓、齿向等。
3. 三坐标测量机：用于精确测量内齿轮的各种尺寸和形状参数。
4. 表面粗糙度仪：用于测量内齿轮的表面质量和光洁度。
5. 声学测试仪器：用于检测内齿轮的噪音和振动情况。
