直栅检测是一种通过观察直栅结构的特征来判断样品的性质和质量的检测方法。它可以用于检测材料的纯度、晶体结构、薄膜厚度等。

常用的直栅检测仪器有：

1. 直栅显微镜：直栅显微镜是一种特殊的光学显微镜，专门用于观察直栅结构的细节。通过显微镜的放大功能，可以清晰地观察到直栅的形态和排列情况。

2. 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：FTIR可以通过对材料进行红外辐射和吸收分析，确定材料的分子结构和化学组成。对于具有直栅结构的材料，可以通过FTIR检测其在红外光谱区域的吸收峰来判断其特定的直栅特性。

3. 扫描电子显微镜（SEM）：SEM可以对样品进行高分辨率的表面形貌观察，通过对直栅结构的形貌和排列方式进行分析，可以判断其质量和性质。

4. X射线衍射仪（XRD）：XRD可以通过分析材料对X射线的衍射模式来确定其晶体结构。对于直栅样品，XRD可以检测其晶体结构和晶体参数，以及直栅的周期性和平行度。

5. 原子力显微镜（AFM）：AFM可以通过探针扫描样品表面，获得样品表面的形貌和纳米级别的尺寸特征。对于直栅结构，AFM可以检测其表面的平整度和直栅细节。