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文章概述：1. 真空泵：用于将处理区域抽成真空状态，常见的有旋片泵、分子泵等。
2. 真空计：用于测量处理区域的真空度，常见的有冷阴极离子化真空计、热阴极离子化真空计等。
3. 氩弧焊机：用
1. 真空泵：用于将处理区域抽成真空状态，常见的有旋片泵、分子泵等。
2. 真空计：用于测量处理区域的真空度，常见的有冷阴极离子化真空计、热阴极离子化真空计等。
3. 氩弧焊机：用于进行氩弧焊接处理。
4. 真空炉：用于进行高温真空处理。
