真空自蒸发器是一种用于制备薄膜、涂层或纳米材料的设备，在物理、化学、电子等领域有着广泛的应用。

真空自蒸发器检测的范围包括但不限于以下内容：

1. 薄膜厚度测量：利用光学干涉原理或其他相关方法，测量和确定蒸发的材料在基底表面的厚度。

2. 成分分析：通过光谱分析、质谱分析、电子能谱分析等方法，对蒸发材料的组成进行检测，包括元素和化合物的含量及结构。

3. 结构表征：利用X射线衍射、电子显微镜等技术，对蒸发的材料的晶体结构、晶格常数、晶体形貌等进行表征。

4. 界面性能测试：通过接触角测量、界面张力测量等方法，评估薄膜/涂层和基底之间的粘附性能、润湿性等。

5. 光学性能测量：包括透光率、反射率、折射率、吸收率等光学性能的测试和评估。

6. 电学性能测量：如电阻率、介电常数、表面电荷密度等的测量，用于评估薄膜的电学性能。

7. 机械性能测试：通过硬度测量、拉伸、弯曲等实验，对薄膜的机械性能进行评估，包括强度、韧性等参数。

8. 温度稳定性测试：通过加热和冷却试验，评估薄膜在不同温度条件下的稳定性和性能变化。