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文章概述：1. 真空漏率检测仪器：用于检测被测试物体内部的真空度以及真空密封性能，例如真空泄漏检测仪。
2. 真空计：用于测量被测试物体内部的真空度，常见的有热阴极离子化真空计、热电偶
1. 真空漏率检测仪器：用于检测被测试物体内部的真空度以及真空密封性能，例如真空泄漏检测仪。
2. 真空计：用于测量被测试物体内部的真空度，常见的有热阴极离子化真空计、热电偶真空计等。
3. 氦质谱检测仪：用于检测被测试物体内部的真空泄漏情况，常使用氦质谱检测技术。
4. 高真空腔体检测仪：用于检测高真空腔体的真空度和泄漏情况，例如微波毫米波实验室用的高真空腔体检测仪。
5. 微型气泵：用于在检测过程中排空被测试物体内部的气体，以便观察真空度和检测泄漏情况。
