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文章概述：载物台检测通常使用以下仪器：
1. 台式激光干涉仪：用于精确测量载物台的平整度和平行度。
2. 气动量规：用于测量载物台的精密度和平面度。
3. 数控三坐标测量机：用于检测载物台的
载物台检测通常使用以下仪器：
1. 台式激光干涉仪：用于精确测量载物台的平整度和平行度。
2. 气动量规：用于测量载物台的精密度和平面度。
3. 数控三坐标测量机：用于检测载物台的几何形状和尺寸。
4. 弹簧测力计：用于测量载物台的承载能力和弹性特性。
5. 动力学分析仪：用于测量载物台的振动特性和动力学性能。
6. 光学投影仪：用于检测载物台的表面缺陷和轮廓形状。
