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文章概述：常用的预抽真空泵检测仪器包括：
1. 真空表：用于测量真空度，常见的有压力表和真空计。可以用于检测真空泵的抽气能力。
2. 压力表：用于测量气体的压力，可以用于检测真空泵的抽气能
常用的预抽真空泵检测仪器包括：
1. 真空表：用于测量真空度，常见的有压力表和真空计。可以用于检测真空泵的抽气能力。
2. 压力表：用于测量气体的压力，可以用于检测真空泵的抽气能力。
3. 流量计：用于测量气体的流量，可以用于检测真空泵的抽气能力。
4. 气体分析仪：用于分析气体成分的仪器。可以用于检测真空泵抽出的气体的成分。
5. 温度计：用于测量气体或液体的温度，可以用于检测真空泵运行时的温度。
