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文章概述：再聚焦光束检测是一种用于检测光束直径、光束质量和发散角等参数的技术。以下是常用的仪器：
1. 光束分析仪：通过使用CCD相机和对应的软件分析系统，可以测量光束的直径、形状、
再聚焦光束检测是一种用于检测光束直径、光束质量和发散角等参数的技术。以下是常用的仪器：
1. 光束分析仪：通过使用CCD相机和对应的软件分析系统，可以测量光束的直径、形状、光强分布等参数。
2. 像差测量仪：利用干涉仪原理，测量光束的像差情况，包括球差、色差等。
3. 波前传感器：通过测量光束的波前相位信息，可以对光束的发散角、像差等进行分析。
4. 激光功率计：用于测量激光器输出的功率，以及光束的能量稳定性。
