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文章概述：1. 光学显微镜：用于观察样品的细微结构和形态，以判断样品的归心状况。
2. 光学投影仪：对样品进行放大和投射，以检测样品的几何形状和精度。
3. 自动测量系统：通过光学传感器和探
1. 光学显微镜：用于观察样品的细微结构和形态，以判断样品的归心状况。
2. 光学投影仪：对样品进行放大和投射，以检测样品的几何形状和精度。
3. 自动测量系统：通过光学传感器和探测器，自动测量样品的尺寸、形状和归心精度。
4. 三坐标测量仪：利用三轴的测量机构，对样品进行三维的坐标测量和归心检测。
5. 高精度电子天平：用于测量样品的重量，以判断样品的均匀性和质量。
