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文章概述：1.光学显微镜：用于观察预制机表面的细微结构和缺陷。
2.扫描电子显微镜（SEM）：通过电子束扫描样品表面，获得高分辨率的表面形貌和微结构信息。
3.能谱仪：用于分析样品表面元素的成
1.光学显微镜：用于观察预制机表面的细微结构和缺陷。
2.扫描电子显微镜（SEM）：通过电子束扫描样品表面，获得高分辨率的表面形貌和微结构信息。
3.能谱仪：用于分析样品表面元素的成分，包括能量散射能谱仪（EDS）和荧光X射线能谱仪（XRF）。
4.电子探针：通过扫描电子显微镜与能谱仪的联用，可以获得样品的元素组成和分布信息。
5.压力仪：用于测量预制机在不同压力下的性能表现。
