检测项目

密封性能检测：

• 静态泄漏率：泄漏值≤1×10^{-9} mbar·L/s（参照ISO 1608）
• 动态密封性：真空度波动范围±0.5%（ASTM E595）

压力耐受检测：

• 极限压力耐受：最低真空度≥10^{-7} mbar（如：GB/T 7777）
• 压力循环测试：循环次数≥10000次（ASTM F398）
• 爆破压力：耐受值≥1.5倍工作压力（ISO 4126）

真空度维持检测：

• 真空抽速：抽速范围0.1-100 L/s（参照ISO 21360）
• 真空保持时间：维持时间≥24小时（GB/T 19956）

材料成分检测：

• 合金元素分析：偏差±0.05wt%（如：镍含量≥15%）
• 杂质含量：杂质≤0.01%（ISO 11876）

结构完整性检测：

• 抗拉强度：屈服强度≥355MPa（ASTM E8）
• 疲劳寿命：循环次数≥10^6次（GB/T 3075）

温度稳定性检测：

• 热变形测试：变形量≤0.1mm（如：ISO 306）
• 低温性能：工作温度-196℃（ASTM D746）

泄漏率验证检测：

• 氦质谱泄漏：泄漏率≤5×10^{-10} mbar·L/s（ISO 15848）
• 气泡法泄漏：无气泡出现（GB/T 13927）

运行噪音检测：

• 声压级：噪音值≤65dB（ISO 3744）
• 振动幅度：振幅≤0.05mm（GB/T 10068）

能耗效率检测：

• 功率消耗：能耗≤500W（如：IEC 60034）
• 效率因子：效率≥85%（ASTM F2148）

安全防护检测：

• 过压保护：响应时间≤0.1s（ISO 4126）
• 电气安全：绝缘电阻≥100MΩ（GB 4706）

检测范围

1. 金属真空泵： 涵盖涡轮分子泵和旋片泵，重点检测极限真空度和泄漏率稳定性

2. 橡胶密封圈： 包括氟橡胶和丁腈橡胶制品，侧重温度变形和密封耐久性验证

3. 陶瓷真空阀门： 涉及氧化铝和氮化硅材质，检测高压耐受和热冲击性能

4. 塑料真空组件： 如聚四氟乙烯管路，重点分析化学兼容性和真空渗透率

5. 复合材料真空增强器： 碳纤维增强聚合物结构，检测层间结合强度和疲劳寿命

6. 金属波纹管： 不锈钢或铜合金材质，侧重压力循环和位移精度测试

7. 真空计传感器： 皮拉尼和电容薄膜类型，检测精度偏差和零点漂移

8. 真空腔体： 铝合金或钛合金制造，重点验证焊接完整性和泄漏点分布

9. 真空法兰： KF和CF系列法兰，检测密封面平整度和紧固力均匀性

10. 真空吸附装置： 工业用吸盘系统，侧重吸附力保持和能耗效率测试

检测方法

国际标准：

• ISO 1608-1:2020 真空泵性能测试方法（测量抽速和极限压力）
• ASTM E595-07 材料出气测试（评估真空环境脱气率）
• ISO 15848-1:2015 阀门泄漏率测试（使用氦质谱法）

国家标准：

• GB/T 19956-2005 真空技术术语和性能参数（定义真空度指标）
• GB/T 7777-2019 真空泵性能试验方法（规定极限压力测试）
• GB/T 13927-2008 工业阀门压力试验（覆盖泄漏和强度验证）

方法差异说明：ISO标准采用公制单位优先，ASTM偏向英制转换；GB标准在测试压力循环时设置更低温度阈值，而ISO允许更宽范围环境条件；泄漏率检测中，ASTM E595要求特定气体介质，GB等效标准扩展至多气体兼容性。

检测设备

1. 氦质谱检漏仪： INFICON ELT3000型（检测限5×10^{-12} mbar·L/s，响应时间0.5s）

2. 真空度测试仪： PFEIFFER TPG256A型（量程10^{-9}至1100mbar，精度±0.25%）

3. 电子万能试验机： SHIMADZU AGX-V型（载荷0.01-300kN，应变速率0.0005-500mm/min）

4. 光谱分析仪： THERMO ARL 3460型（元素检测限0.001%，波长范围165-800nm）

5. 热真空试验箱： ESPEC TSA-101S型（温度-70至150℃，真空度10^{-5} mbar）

6. 压力循环测试台： MTS 370型（压力范围0-100bar，循环频率0.1-10Hz）

7. 声级计： BRUEL&KJAER 2250型（频率范围6.3Hz-20kHz，精度±0.5dB）

8. 振动分析仪： OROS OR38型（采样率51.2kHz，分辨率0.1Hz）

9. 金相显微镜： OLYMPUS BX53M型（放大倍数50-1000X，图像分辨率5μm）

10. 气体渗透测试仪： AMETEK PermScan型（渗透率范围10^{-10}至10^{-4} cm³/cm²·s）

11. 真空泵性能测试台： EDWARDS STP-iX450型（抽速测量0.1-1000L/s，真空度下限10^{-7} mbar）

12. 热变形仪： NETZSCH TMA402型（变形分辨率0.1μm，温度范围-150-1000℃）

13. 电气安全测试仪： HIOKI ST5520型（绝缘电阻测试0.01-2000MΩ，耐压0-5kV）

14. 能耗分析仪： YOKOGAWA WT3000型（功率测量0.5-6000W，精度±0.1%）

15. 疲劳试验机： INSTRON 8862型（载荷±100kN，频率0.001-100Hz）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。